[實用新型]一種蒸著裝置及蒸著裝置組

有效

• 申請號: 201520832871.X
• 申請日: 2015-10-26
• 公開（公告）號: CN205170963U
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發明（設計）人: 解博
• 申請（專利權）人: 上海天馬有機發光顯示技術有限公司;天馬微電子股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 張全文

技術領域

本實用新型涉及一種蒸著裝置及蒸著裝置組。

背景技術

現代社會，OLED(有機發光二極管又稱為有機電激光顯示，英文名Organic Light－EmittingDiode，簡稱OLED)技術飛速發展，OLED器件的有機材料成膜 方法也多種多樣，現階段主流的小分子材料成膜采用真空腔室蒸鍍的方式。

目前OLED真空蒸鍍采用的主流技術是將mask(金屬掩模板)與玻璃基板 貼合，mask位于玻璃下方，有機材料通過加熱蒸發、升華等方式穿過mask中 制作的圖形蒸著在玻璃基板上。

真空蒸鍍技術中蒸著裝置非常重要，蒸著裝置使用桶形坩堝(點源)或長 條形坩堝(線源)填裝有機材料，多采用加熱絲分上下多段繞線加熱，從而達 到對有機材料進行加熱，以使有機材料變成氣體狀態用于蒸鍍。由于加熱絲與 坩堝之間存在微小距離，此種加熱方式只能利用電阻絲熱輻射加熱坩堝內有機 材料，加熱效果差；由于加熱絲每一段電阻不可能完全一致，上下加熱絲互相 影響、干擾，存在加熱不均，溫控困難等缺點，造成材料上下段和左右段溫度 差異，從而會導致材料噴濺與堵孔等現象的發生，且蒸鍍速率較低，穩定性較 差。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服上述現有技術的不足，提供了一種蒸著裝置， 其能夠防止材料蒸著過程中發生噴濺，避免出現堵孔現象，穩定蒸鍍速率，提 高加熱均勻性。

本實用新型是這樣實現的：一種蒸著裝置，用于加熱材料并使材料變成氣 體狀態，包括盛放裝置以及設置于盛放裝置外部的加熱裝置，所述加熱裝置包 括：

將所述盛放裝置容納于內并可拆分為兩半的殼罩；

以及固定設置于所述殼罩下部并與殼罩之間形成密閉腔的超導液槽，所述 超導液槽用于盛放超導液，所述殼罩的內部貼附于所述盛放裝置的外部。

具體的，所述密閉腔包裹所述盛放裝置。

具體的，所述盛放裝置包括坩堝、設置于所述坩堝上部的防沸板和至少一 設置于所述防沸板上部的噴嘴，兩半所述殼罩合并后內部形成至少一用于容納 所述噴嘴的噴嘴置放孔，所述密閉腔靠近噴嘴一側的腔體上部與所述噴嘴上部 平齊。

具體的，所述坩堝呈桶狀或者長條狀，所述坩堝呈長條狀時，所述盛放裝 置具有多數個所述噴嘴，每一所述噴嘴對應設置于一個所述噴嘴置放孔，多數 個所述噴嘴置放孔呈一條直線。

可選的，所述殼罩與所述超導液槽之間設置有帶至少一孔的通氣網。

可選的，所述超導液槽采用加熱絲加熱。

一種蒸著裝置組，包括至少二上述蒸著裝置，所述蒸著裝置的所述殼罩側 表面對齊貼合。

本實用新型提供一種蒸著裝置，包括盛放裝置設計與加熱裝置設計，可用 于OLED有機材料蒸鍍。本實用新型所述蒸著裝置的加熱源采用超導液，通過對 超導液槽內的超導液進行加熱，使超導液相變汽化，充滿整個密閉腔，從而形 成對盛放裝置整體均勻加熱，再對盛放裝置內部的有機材料進行加熱，采用此 種方式加熱，蒸鍍過程中溫度變得容易控制，使得有機材料整體溫度均一性好， 能夠防止有機材料蒸著過程中發生噴濺，避免出現堵孔現象，有機材料蒸鍍速 率更加穩定。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例中所 需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用 新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前 提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本實用新型第一實施例的剖面示意圖；

圖2是圖1的加熱裝置分體示意圖；

圖3是圖2的俯視圖；

圖4是本實用新型第二實施例的示意圖；

圖5是圖4剖面示意圖；

圖6是圖5的殼罩俯視圖；

圖7是本實用新型第三實施例的示意圖；

圖8是本實用新型第四實施例的示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖 及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體 實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。