[實(shí)用新型]用于直接光刻和數(shù)字微鏡設(shè)備的裝置和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520815733.0
• 申請(qǐng)日: 2015-10-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205353571U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·萊帝克;陳正方;J·M·懷特
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 黃嵩泉

1.一種用于直接光刻的裝置，所述裝置包括：

光源，所述光源能夠發(fā)射激光；

鏡面，所述鏡面定位成使所述光源發(fā)射的所述激光折射；

鏡面陣列，所述鏡面陣列配置成用于反射所述鏡面折射的所述激光；

透鏡，所述透鏡配置成用于折射所述鏡面陣列反射的所述激光；

載物臺(tái)，所述載物臺(tái)能夠支撐所述激光所指向的基板，其中，所述載物臺(tái)配置成在X軸方向上移動(dòng)；以及

控制器，所述控制器配置成用于控制所述鏡面陣列中的每一個(gè)鏡面的角度；

其中，所述鏡面陣列包括第一數(shù)目的鏡面和第二數(shù)目的鏡面，所述第一數(shù)目的鏡面在所述X軸方向上對(duì)齊，所述第二數(shù)目的鏡面在基本上垂直于所述X軸方向的Y軸方向上對(duì)齊，所述第二數(shù)目大于所述第一數(shù)目。

2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述鏡面陣列中的鏡面中的每一個(gè)鏡面在至少兩種設(shè)置之間是可移動(dòng)的，所述設(shè)置包括：

表示接通條件的角度；以及

表示關(guān)斷條件的角度。

3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，表示所述關(guān)斷條件的角度將所述激光引導(dǎo)至射束收集器。

4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，表示所述接通條件的角度經(jīng)由透鏡而將所述光引導(dǎo)向所述基板上的目標(biāo)。

5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一數(shù)目比所述第二數(shù)目的比率在9∶16與7∶21之間。

6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述第一數(shù)目比所述第二數(shù)目的比率為9∶16。

7.一種數(shù)字微鏡設(shè)備，所述數(shù)字微鏡設(shè)備能夠?qū)?lái)自光源的光反射至可在移動(dòng)方向上移動(dòng)的基板，所述數(shù)字微鏡設(shè)備包括：

多個(gè)數(shù)字微鏡，所述多個(gè)數(shù)字微鏡布置成在X軸方向上至少一行和在X軸方向上至少一列，其中：

所述至少一行中的數(shù)字微鏡的數(shù)目超過(guò)所述至少一列中的數(shù)字微鏡的數(shù)目；并且

所述至少一行基本上垂直于所述移動(dòng)方向。

8.如權(quán)利要求7所述的數(shù)字微鏡設(shè)備，其特征在于，所述至少一列中的數(shù)字微鏡的數(shù)目比所述至少一行中的數(shù)字微鏡的數(shù)目的比率在3∶4與9∶68之間。

9.如權(quán)利要求7所述的數(shù)字微鏡設(shè)備，其特征在于，所述至少一列中的數(shù)字微鏡的數(shù)目比所述至少一行中的數(shù)字微鏡的數(shù)目的比率在9∶16與7∶21之間。

10.一種用于直接光刻的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：

至少一個(gè)空間光調(diào)制器，每一個(gè)空間光調(diào)制器包括：

光源，所述光源能夠發(fā)射激光；

折射鏡，所述光源發(fā)射的所述激光可被引導(dǎo)至所述折射鏡；

鏡面陣列，所述鏡面陣列配置成用于反射所述折射鏡折射的所述激光；以及

透鏡，所述透鏡配置成用于折射所述鏡面陣列反射的所述激光；

載物臺(tái)，所述載物臺(tái)能夠支撐所述激光所指向的基板，其中，所述載物臺(tái)配置成在X軸方向上移動(dòng)；以及

控制器，所述控制器配置成用于控制所述鏡面陣列中的每一個(gè)鏡面的角度；

其中，所述鏡面陣列包括第一數(shù)目的鏡面和第二數(shù)目的鏡面，所述第一數(shù)目的鏡面在所述X軸方向上對(duì)齊，所述第二數(shù)目的鏡面在Y軸方向上對(duì)齊，所述第二數(shù)目大于所述第一數(shù)目。

11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述鏡面陣列中的每一個(gè)鏡面在至少兩種設(shè)置之間是可移動(dòng)的，所述設(shè)置包括：

表示接通條件的角度；以及

表示關(guān)斷條件的角度。

12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，表示所述關(guān)斷條件的角度將所述激光引導(dǎo)至射束收集器。

13.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其特征在于，表示所述接通條件的角度經(jīng)由透鏡將所述光引導(dǎo)向所述基板上的目標(biāo)。

14.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一數(shù)目比所述第二數(shù)目的比率在3∶4與7∶21之間。

15.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述第一數(shù)目比所述第二數(shù)目的比率為9∶16。