[實用新型]純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520813285.0
• 申請日: 2015-10-21
• 公開（公告）號: CN205024316U
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張心鳳;鄭杰;尹輝
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽純源鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，包括陰極靶材（10），所述陰極靶材（10）產(chǎn)生的等離子體向過濾器（20）的入口移動，陰極靶材（10）周圍設(shè)置有陽極（30），過濾器（20）的出口與鍍膜腔室（40）連通，所述鍍膜腔室（40）內(nèi)放置基片（50），其特征在于：所述過濾器（20）的出口位置處設(shè)置有擺動式翻板（60），擺動式翻板（60）呈現(xiàn)用于封堵過濾器（20）的出口及與過濾器（20）之間形成供等離子體通過的通道的兩種位置狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，其特征在于：所述過濾器（20）的出口位置處還設(shè)置有灰塵擋板（70），所述灰塵擋板（70）上開設(shè)有供等離子體通過的通孔（71），所述翻板（60）設(shè)置在灰塵擋板（70）的前方，灰塵擋板（70）與翻板（60）之間間隔布置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，其特征在于：所述翻板（60）與灰塵擋板（70）之間距離范圍是5～10mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，其特征在于：所述翻板（60）的面積大于通孔（71）面積，翻板（60）的邊緣和通孔（71）的邊緣連線與水平中心線之間的夾角范圍在40°～50°之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，其特征在于：所述過濾器（20）整體呈直角彎管狀結(jié)構(gòu)，過濾器（20）的一端管口構(gòu)成入口，過濾器（20）的另一端的管口構(gòu)成出口，過濾器（20）的出口與鍍膜腔室（40）密封連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的純離子鍍膜裝置過濾器的隔灰翻板，其特征在于：所述陽極（30）呈管狀結(jié)構(gòu)，所述陰極靶材（10）設(shè)置在陽極（30）的管腔內(nèi)，陽極（30）的管端與過濾器（20）的入口構(gòu)成密封連接。