[實用新型]一種區熔氣摻單晶用吹氣線圈

有效

• 申請號: 201520811485.2
• 申請日: 2015-10-19
• 公開（公告）號: CN205115662U
• 公開（公告）日: 2016-03-30
• 發明（設計）人: 韓暐;王遵義;婁中士;孫昊;楊旭洲;涂頌昊;劉錚;張雪囡;王彥君;由佰玲
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: C30B13/12
• 分類號: C30B13/12;C30B29/06
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 陳雅潔

1.一種區熔氣摻單晶用吹氣線圈，其特征在于：包括線圈(1)和吹氣氣路(3)，所述線圈(1)為中心帶有線圈眼(11)的圓環形結構，上表面設置有一個向所述線圈(1)內部凹陷的環狀臺階，所述臺階上為平面，所述臺階底部一端與所述線圈(1)內圓上邊沿連接成向下傾斜的斜面，所述線圈(1)下表面為向線圈中心上方傾斜的斜面，所述吹氣氣路(3)從外側水平穿入，經過所述線圈(1)的下半部分，從其傾斜的下表面穿出。

2.根據權利要求1所述的區熔氣摻單晶用吹氣線圈，其特征在于：所述線圈(1)上開有以所述線圈眼(11)為中心的貫通上下表面的十字切縫(12)，其中一個切縫延伸至所述線圈(1)外，與連接電極的法蘭(4)連接。

3.根據權利要求1或2所述的區熔氣摻單晶用吹氣線圈，其特征在于：還包括冷卻水管(2)，所述冷卻水管(2)嵌入所述線圈(1)的骨架內。

4.根據權利要求3所述的區熔氣摻單晶用吹氣線圈，其特征在于：所述冷卻水管(2)在所述線圈(1)內呈環狀分布。

5.根據權利要求1或2所述的區熔氣摻單晶用吹氣線圈，其特征在于：所述線圈(1)為單匝平板結構。