[實用新型]一種機械傳遞臂及真空傳遞腔

有效

• 申請號: 201520801219.1
• 申請日: 2015-10-09
• 公開（公告）號: CN205201564U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 謝英英;池彬;趙嘉峰;歐宏煒
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技(上海)有限公司
• 主分類號: B25J18/02
• 分類號: B25J18/02;B25J9/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及機械領域，特別是一種超真空環境下的機械臂和真空傳遞腔。

背景技術

超高真空是指真空度>10-6Pa的人造真空環境，根據氣體分子到達材料表面的速率以及氣體平均自由程等參數，我們可以計算出在正常大氣壓下氣體分子覆蓋材料表面一個單原子層的時間為10-9s，而在10-10Pa量級的超高真空環境下，時間卻會大大延長至104s。由此可見在科研領域，真空度對測得樣品表面本征性質至關重要。目前，超高真空實驗系統已經廣泛應用在半導體、物理、化學、材料和生物科學等各個領域，用于對不同類型的樣品進行生長、表征和物性測量。這些超高真空實驗系統中，尤其是表面敏感的實驗測量技術，其對真空度的要求更為苛刻。傳樣裝置是超高真空實驗系統的重要組成部分，用于實現樣品在不同超高真空腔體之間的傳遞。

申請號為CN200420109354.1的實用新型專利公開了一種壁虎式多級送樣器，但結構復雜精度差，且不適用于超高真空系統。申請號為CN201410395415.3的發明專利公開了一種管狀制品的切割裝置，其中涉及三級伸縮機構，該機構主要通過絲杠的轉動實現切割刀的收縮功能，具有造價高易磨損的缺點。

現有技術中，在一定大小的腔體內實現機械臂傳動時，一部分結構末端伸長距離有限，另一部分雖然可以伸得更長，但是傳動部件多、結構復雜，改造余地小，制作成本高，對不同超高真空系統的兼容性較差。

實用新型內容

本實用新型提出一種超高真空實驗系統的、用于傳樣的機械傳遞臂及帶有該機械傳遞臂的真空傳遞腔，該機械傳遞臂及真空傳遞腔實現了傳樣機械臂在超高真空腔體內部相互嵌套的多個機械臂依次伸出的功能，實現了機構末端長距離的伸縮運動。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種機械傳遞臂，其包括第一級驅動裝置、第二級驅動裝置和第三級驅動裝置；所述第一級驅動裝置包括：第一驅動導軌及與其固定連接的第一機械臂；所述第一機械臂上設置有第一導向滾輪；且兩側外邊沿設置有第一導向槽；

所述第二級驅動裝置包括：第二機械臂，所述第二機械臂內側設置有第二內導向槽，外側設置有第二外導向槽；所述第一導向滾輪與第一導向槽沿所述第二內導向槽移動；

所述第三級驅動裝置包括：第三驅動導軌及與其固定連接的第三機械臂；所述第三機械臂的內側設置有第三內導向槽；所述第二外導向槽、第二導向滾輪沿所述第三內導向槽移動；

所述第一驅動導軌左端一側設置有插銷凹塊，所述第三機械臂上可滑動地設置有一插銷，所述插銷的滑動方向與所述第三機械臂的運動方向垂直；所述插銷一端為鎖定端，可插入所述插銷凹塊內，另一端為鎖定控制端，所述鎖定控制端固定有滾動裝置，所述滾動裝置沿一滑槽運動；所述鎖定控制端與所述第三機械臂通過彈性部件連接。

本實用新型通過所述插銷與插銷凹塊的配合，將所述的第一機械臂與第三機械臂連接在一起，實現了穩定的多級傳動。

優選地，所述第二機械臂內部兩端設置有第二導向滾輪，所述第二導向滾輪與所述第一機械臂滾動連接。

優選地，其還包括第四級驅動裝置，所述第四級驅動裝置包括：第四機械臂及其內側的第四導向槽。

優選地，所述第三機械臂內部兩端設置有第三導向滾輪，外側設置有第三外導向槽；所述第三外導向槽、第三導向滾輪沿所述第四導向槽滾動。

優選地，所述第四機械臂外側兩邊緣上設置有第四導向滾輪，所述第四導向滾輪沿所述第三外導向槽滾動，用于支撐第三機械臂。

優選地，所述彈性部件為彈簧。

優選地，所述鎖定控制端與所述第三機械臂通過兩個彈簧連接，且兩個彈簧關于所述插銷的中軸線對稱布置。

優選地，所述第一驅動導軌和/或第三驅動導軌為齒條傳動裝置。

本實用新型還提出一種真空傳遞腔，該真空傳遞腔內設置有前述的任一項機械傳遞臂。

優選地，該真空傳遞腔還包括波紋管傳動裝置、磁耦合饋通裝置和齒輪傳動裝置，所述第一驅動導軌為齒條傳動裝置，所述齒輪傳動裝置的輸出齒輪與所述第一驅動導軌上的齒條相互嚙合。優選地，所述滑槽固定于所述齒輪傳動裝置上。

本實用新型的機械傳遞臂伸長量大，結構簡潔有效，設計上注重不同超高真空實驗系統的兼容性，從而簡約了成本，簡化了操作，增大了應用的范圍。

附圖說明