[實用新型]一種機械傳遞臂及真空傳遞腔

有效

• 申請號: 201520801219.1
• 申請日: 2015-10-09
• 公開（公告）號: CN205201564U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 謝英英;池彬;趙嘉峰;歐宏煒
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技(上海)有限公司
• 主分類號: B25J18/02
• 分類號: B25J18/02;B25J9/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種機械傳遞臂，其特征在于：其包括第一級驅動裝置、第二級驅動裝置和第三級驅動裝置；

所述第一級驅動裝置包括：第一驅動導軌(4.1)及與其固定連接的第一機械臂(4.2)；所述第一機械臂(4.2)上設置有第一導向滾輪(4.4)；且兩側外邊沿設置有第一導向槽(4.5)；

所述第二級驅動裝置包括：第二機械臂(4.6)，所述第二機械臂(4.6)內側設置有第二內導向槽(4.7)，外側設置有第二外導向槽(4.8)；所述第一導向滾輪(4.4)與第一導向槽(4.5)沿所述第二內導向槽(4.7)移動；

所述第三級驅動裝置包括：第三驅動導軌(4.10)及與其固定連接的第三機械臂(4.11)；所述第三機械臂(4.11)內側設置有第三內導向槽(4.12)，所述第二外導向槽(4.8)、第二導向滾輪(4.9)沿所述第三內導向槽(4.12)移動；

所述第一驅動導軌(4.1)左端一側設置有插銷凹塊(4.3)，所述第三機械臂(4.11)上可滑動地設置有一插銷(4.15)，所述插銷(4.15)的滑動方向與所述第三機械臂(4.11)的運動方向垂直；所述插銷(4.15)一端為鎖定端，可插入所述插銷凹塊(4.3)內，另一端為鎖定控制端，所述鎖定控制端固定有滾動裝置，所述滾動裝置沿一滑槽(3.14)運動；所述鎖定控制端與所述第三機械臂(4.11)通過彈性部件連接。

2.如權利要求1所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述第二機械臂(4.6)內部兩端設置有第二導向滾輪(4.9)，所述第二導向滾輪(4.9)與所述第一機械臂(4.2)滾動連接。

3.如權利要求1所述的機械傳遞臂，其特征在于，其還包括第四級驅動裝置，所述第四級驅動裝置包括：第四機械臂(4.16)及其內側的第四導向槽(4.17)。

4.如權利要求3所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述第三機械臂(4.11)內部兩端設置有第三導向滾輪(4.14)，外側設置有第三外導向槽(4.13)；所述第三外導向槽(4.13)、第三導向滾輪(4.14)沿所述第四導向槽(4.17)滾動。

5.如權利要求4所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述第四機械臂(4.16)外側兩邊緣上設置有第四導向滾輪(4.18)，所述第四導向滾輪(4.18)沿所述第三外導向槽(4.13)滾動。

6.如權利要求1所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述彈性部件為彈簧。

7.如權利要求6所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述鎖定控制端與所述第三機械臂(4.11)通過兩個彈簧連接，且兩個彈簧關于所述插銷(4.15)的中軸線對稱布置。

8.如權利要求1所述的機械傳遞臂，其特征在于，所述第一驅動導軌(4.1)和/或第三驅動導軌(4.10)為齒條傳動裝置。

9.一種真空傳遞腔，其特征在于，該真空傳遞腔內設置有權利要求1-8任一項所述的機械傳遞臂。

10.如權利要求9所述的真空傳遞腔，其特征在于，該真空傳遞腔還包括波紋管傳動裝置、磁耦合饋通裝置和齒輪傳動裝置，所述第一驅動導軌為齒條傳動裝置，所述齒輪傳動裝置的輸出齒輪與所述第一驅動導軌(4.1)上的齒條相互嚙合。