[實(shí)用新型]一種高效晶硅太陽能電池有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520792590.6 | 申請(qǐng)日: | 2015-10-14 |
| 公開(公告)號(hào): | CN205104495U | 公開(公告)日: | 2016-03-23 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 方結(jié)彬;秦崇德;石強(qiáng);黃玉平;何達(dá)能;陳剛 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東愛康太陽能科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0216 | 分類號(hào): | H01L31/0216;H01L31/0236;H01L31/18 |
| 代理公司: | 佛山市中迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44283 | 代理人: | 張伶俐 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 高效 太陽能電池 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種高效晶硅太陽能電池。
背景技術(shù)
晶硅太陽能電池是一種有效地吸收太陽輻射能,利用光生伏打效應(yīng)把光能轉(zhuǎn)換成電能的器件,當(dāng)太陽光照在半導(dǎo)體P-N結(jié)(P-NJunction)上,形成新的空穴-電子對(duì)(V-Epair),在P-N結(jié)電場(chǎng)的作用下,空穴由N區(qū)流向P區(qū),電子由P區(qū)流向N區(qū),接通電路后就形成電流。
晶硅太陽能電池的制備工藝分為制絨、擴(kuò)散、刻蝕、正面鍍膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)六大工序。其中,制絨的目的是在硅片正面形成凹凸不平的織構(gòu)化絨面結(jié)構(gòu),增加太陽光的吸收面積,降低太陽光的反射率。行業(yè)內(nèi)都是采用整面酸法制絨的方式對(duì)多晶硅表面制絨,在降低反射率的同時(shí),硅片表面的少子復(fù)合也大大增加,制約了電池開路電壓和短路電流的提升。由于現(xiàn)有晶硅電池的制造工藝是直接在硅表面制絨,凹凸不平的硅表面帶來嚴(yán)重的少子復(fù)合,制約了電池開路電壓和短路電流的提高;在絨面上進(jìn)行擴(kuò)散,也導(dǎo)致很差的方阻均勻性,從而影響電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于,提供一種高效晶硅太陽能電池,能避免直接在硅表面制絨引起的硅表面復(fù)合速率增加和擴(kuò)散不均勻的問題,提升晶硅太陽能電池的光電效率。
為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供了一種高效晶硅太陽能電池,包括正電極、N型硅、P型硅襯底、鋁背場(chǎng)和背電極,N型硅、P型硅襯底和鋁背場(chǎng)自上而下依次層疊式設(shè)置,所述P型硅襯底上下表面均為拋光面,N型硅上表面層疊有氧化層和減反膜,氧化層位于N型硅與減反膜之間,氧化層表面為絨面。
作為上述方案的改進(jìn),所述氧化層表面為針狀絨面。
作為上述方案的改進(jìn),所述氧化層為二氧化硅。
作為上述方案的改進(jìn),所述減反膜為氮化硅膜。
作為上述方案的改進(jìn),所述氮化硅膜的折射率為2.0-2.5。
作為上述方案的改進(jìn),所述氮化硅膜的厚度為50nm-200nm。
作為上述方案的改進(jìn),所述氮化硅膜由PEVCD設(shè)備制成。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有如下有益效果:P型硅襯底上下表面均為拋光面,具有能得到均勻性好的PN結(jié)的優(yōu)點(diǎn);N型硅上表面層疊有氧化層和減反膜,氧化層位于N型硅與減反膜之間,氧化層表面為絨面,絨面設(shè)在氧化層表面而不是直接做在硅表面,具有使硅片正面擁有較低的表面復(fù)合速率,有效降低反射率,提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率的優(yōu)點(diǎn)。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型高效晶硅太陽能電池的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。
如圖1所示,本實(shí)用新型的一種高效晶硅太陽能電池,包括正電極1、N型硅2、P型硅襯底3、鋁背場(chǎng)4和背電極5,N型硅2、P型硅襯底3和鋁背場(chǎng)4自上而下依次層疊式設(shè)置,P型硅襯底3上下表面均為拋光面,N型硅2上表面層疊有氧化層6和減反膜7,氧化層6位于N型硅2與減反膜7之間,氧化層6表面為絨面。
優(yōu)選地,氧化層6表面為針狀絨面,所述氧化層6為二氧化硅。
優(yōu)選地,減反膜7為氮化硅膜,所述氮化硅膜的折射率為2.0-2.5,具體的氮化硅膜的折射率為2.0、2.1、2.2、2.3、2.4、2.5,但不限于此。氮化硅膜由PEVCD設(shè)備制成。
優(yōu)選地,氮化硅膜的厚度為50nm-200nm,具體的氮化硅膜的厚度為50nm、75nm、100nm、150nm、175nm、200nm,但不限于此。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有如下有益效果:P型硅襯底3上下表面均為拋光面,具有能得到均勻性好的PN結(jié)的優(yōu)點(diǎn);N型硅2上表面層疊有氧化層6和減反膜7,氧化層6位于N型硅2與減反膜7之間,氧化層6表面為絨面,絨面設(shè)在氧化層6表面而不是直接做在硅表面,具有使硅片正面擁有較低的表面復(fù)合速率,有效降低反射率,提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率的優(yōu)點(diǎn)。
本實(shí)用新型所述的高效晶硅太陽能電池的制備步驟具體如下:
步驟S100:對(duì)硅片進(jìn)行雙面拋光;
本步驟采用NaOH溶液對(duì)硅片雙面拋光,NaOH溶液的濃度為10%-30%。
步驟S101:在硅片正面進(jìn)行高方阻磷擴(kuò)散;
本步驟的高方阻磷擴(kuò)散采用管式三氯氧磷擴(kuò)散方法對(duì)硅片表面摻雜高方阻磷。
步驟S102:去除磷擴(kuò)散形成的正面磷硅玻璃和周邊PN結(jié);
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





