[實用新型]金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器

有效

• 申請號: 201520769447.5
• 申請日: 2015-09-29
• 公開（公告）號: CN204959033U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 權永德
• 申請（專利權）人: 上海荷緣光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46
• 代理公司: 上海領洋專利代理事務所(普通合伙) 31292
• 代理人: 羅曉鵬

1.一種金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其包括：

四層環形金屬板，上下平行設置，分別具有對應的沿螺旋線排列的若干圓孔，自上而下分別為第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座，所述第一反射板、第一基座、第二反射板和第二基座互相由若干固定組件和若干定位件連接固定；

一加熱體，包括呈螺旋線狀鋪設在所述第一反射板上的加熱線圈，所述加熱線圈由穿設在所述若干圓孔中的若干支撐件支撐；

其特征在于，所述第一反射板分為三段。

2.如權利要求1所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述加熱體還包括沿螺旋線等距分布的穿設在所述若干圓孔中的若干對第一連接件和兩第二連接件；所述加熱線圈由若干等長的加熱電阻絲通過所述若干對第一連接件連接而成；所述加熱線圈成一通路，兩端分別在所述四層環形金屬板外側和內側并分別通過一所述第二連接件連通電源。

3.如權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述第一反射板每段之間留有2毫米的間隙并通過所述固定組件固定。

4.如權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述第一反射板厚度為1.5～6毫米。

5.如權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述第二反射板厚度為0.1～3毫米。

6.如權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述四層環形金屬板材質為鉬、鎢鉬合金或者鉬鑭合金。

7.如權利要求6所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述四層環形金屬板材質為鉬鑭合金。

8.如權利要求2所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述加熱電阻絲材質為鎢或者鉬。

9.如權利要求8所述的金屬有機化學氣相沉積電阻加熱器，其特征在于：所述加熱電阻絲材質為鎢。