[實用新型]一種具有背面對準功能的無掩膜直寫光刻機吸盤結構

有效

• 申請號: 201520764902.2
• 申請日: 2015-09-30
• 公開（公告）號: CN204989749U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 曹常瑜
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 張祥騫;奚華保

1.一種具有背面對準功能的無掩膜直寫光刻機吸盤結構，包括上吸盤（1）和下吸盤（2），上吸盤（1）和下吸盤（2）兩者固定安裝，基板（22）吸附在上吸盤（1）的正面上，其特征在于：

所述的上吸盤（1）的背面開設有左安裝槽（24）和右安裝槽（25），左安裝槽（24）和右安裝槽（25）兩者位于上吸盤（1）的同一條直徑上且兩者呈鏡像對應，左圖像采集組件（26）安裝在左安裝槽（24）內，右圖像采集組件（27）安裝在右安裝槽（25）內，左圖像采集組件（26）和右圖像采集組件（27）兩者結構相同；

上吸盤（1）上分別設有通光孔A（31）、通光孔B（32）、通光孔C（33）和通光孔D（34），通光孔A（31）和通光孔B（32）分別位于左圖像采集組件（26）的兩個反射棱鏡的上方，通光孔C（33）和通光孔D（34）分別位于右圖像采集組件（27）的兩個反射棱鏡的上方，通光孔B（32）和通光孔C（33）分別與基板（22）的兩個參考標記（4）相對應，通光孔A（31）和通光孔D（34）均位于基板（22）的外圍。

2.根據權利要求1所述的一種具有背面對準功能的無掩膜直寫光刻機吸盤結構，其特征在于：所述的左圖像采集組件（26）包括基座（28），基座（28）安裝在左安裝槽（24）內，基座（28）上依次安裝有反射棱鏡A（18）、光學成像通道（16）和反射棱鏡B（14），反射棱鏡A（18）、光學成像通道（16）和反射棱鏡B（14）三者在同一條直線上，反射棱鏡A（18）和反射棱鏡B（14）兩者呈鏡像對應。

3.根據權利要求1所述的一種具有背面對準功能的無掩膜直寫光刻機吸盤結構，其特征在于：所述的上吸盤（1）上設有開口槽（11）。

4.根據權利要求1所述的一種具有背面對準功能的無掩膜直寫光刻機吸盤結構，其特征在于：所述的上吸盤（1）和下吸盤（2）均覆有黑色氧化膜。