[實(shí)用新型]一種掃描電鏡測(cè)試平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520753550.0
• 申請(qǐng)日: 2015-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204927233U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-12-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李琰琪;王栩生;邢國(guó)強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/28
• 分類號(hào): H01J37/28;H01J37/20;G01N1/28;G01N23/225
• 代理公司: 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種掃描電鏡測(cè)試平臺(tái)，尤其適用于測(cè)試磁性材料的樣品。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，掃描電鏡是一種樣品制備簡(jiǎn)單、分辨高、綜合分析能力強(qiáng)的測(cè)試分析設(shè)備，目前廣泛應(yīng)用于各類材料的表面和截面微觀分析。其中，樣品臺(tái)是掃描電鏡設(shè)備的核心部件，其一般為鋁制的圓形平臺(tái)。在樣品表面測(cè)試時(shí)，以薄片型樣品為例，通常通過(guò)導(dǎo)電膠將樣品粘貼于樣品臺(tái)面上做觀察。而要對(duì)樣品做截面測(cè)試，需要在樣品臺(tái)的四周貼上導(dǎo)電膠，再將樣品貼于平臺(tái)側(cè)邊上。

目前，由于電鏡的鏡頭在通電時(shí)會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)，為了避免測(cè)試樣品被磁力吸在鏡頭上損壞電鏡，所以對(duì)于鐵鈷鎳等磁性材料的金屬片或金屬塊，在對(duì)其進(jìn)行表面形貌觀察或者EDS成分掃描時(shí)，需要測(cè)試者根據(jù)經(jīng)驗(yàn)在測(cè)試樣品周圍貼滿導(dǎo)電膠，操作非常繁瑣，而且具有相當(dāng)?shù)娘L(fēng)險(xiǎn)。因此，目前通常不對(duì)這些材料做任何電鏡測(cè)試。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種掃描電鏡測(cè)試平臺(tái)，適用于測(cè)試磁性材料的樣品。

為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種掃描電鏡測(cè)試平臺(tái)，包括樣品平臺(tái)，所述樣品平臺(tái)上層疊設(shè)有活動(dòng)連接的測(cè)試輔助平臺(tái)，并通過(guò)限位機(jī)構(gòu)對(duì)所述測(cè)試輔助平臺(tái)的位置進(jìn)行限定，所述測(cè)試輔助平臺(tái)上設(shè)有測(cè)試孔。

上述技術(shù)方案中，所述樣品平臺(tái)和測(cè)試輔助平臺(tái)上以平臺(tái)縱軸為對(duì)稱軸分別對(duì)稱設(shè)有一對(duì)對(duì)稱的螺孔，所述樣品平臺(tái)和測(cè)試輔助平臺(tái)經(jīng)螺絲固定連接。

上述技術(shù)方案中，所述限位機(jī)構(gòu)包括設(shè)于樣品平臺(tái)上的至少2個(gè)定位片和設(shè)于測(cè)試輔助平臺(tái)上對(duì)應(yīng)于所述定位片的定位片孔。

上述技術(shù)方案中，所述測(cè)試孔至少有2個(gè)，以平臺(tái)中心為圓心沿圓周均勻分布于測(cè)試輔助平臺(tái)上。

優(yōu)選的，所述測(cè)試孔的直徑為0.5~5mm。所述測(cè)試孔的大小既要方便測(cè)試，又要小于樣品，以起到防止樣品被吸氣損壞鏡頭。

優(yōu)選的，所述測(cè)試孔的直徑為2mm。

本實(shí)用新型的測(cè)試平臺(tái)在使用時(shí)，在樣品平臺(tái)上找好對(duì)應(yīng)位置用導(dǎo)電膠沾好樣品，將定位片孔和定位片對(duì)齊使得測(cè)試輔助平臺(tái)和樣品平臺(tái)重疊在一起，再用螺絲穿過(guò)螺孔進(jìn)行固定，電鏡可以通過(guò)測(cè)試孔找到待測(cè)的磁性樣品進(jìn)行測(cè)試。

由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：

1.本實(shí)用新型通過(guò)在樣品平臺(tái)上活動(dòng)設(shè)置測(cè)試輔助平臺(tái)，并在測(cè)試輔助平臺(tái)上設(shè)置測(cè)試孔，在測(cè)試磁性樣品時(shí)，不會(huì)因電鏡鏡頭通電產(chǎn)生的磁場(chǎng)將樣品吸氣而損壞鏡頭。

2.本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，不需要考慮測(cè)試人員的經(jīng)驗(yàn)。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例一中本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是實(shí)施例一中本實(shí)用新型的樣品平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是實(shí)施例一中本實(shí)用新型的測(cè)試輔助平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3的側(cè)面剖視圖。

其中：1、樣品平臺(tái)；2、測(cè)試輔助平臺(tái)；3、定位片；4、定位片孔；5、螺孔；6、測(cè)試孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述：

實(shí)施例一：

參見(jiàn)圖1至4所示，一種掃描電鏡測(cè)試平臺(tái)，包括樣品平臺(tái)1，所述樣品平臺(tái)上設(shè)有活動(dòng)連接的測(cè)試輔助平臺(tái)2，并通過(guò)限位機(jī)構(gòu)對(duì)測(cè)試輔助平臺(tái)位置進(jìn)行限定，所述測(cè)試輔助平臺(tái)上設(shè)有測(cè)試孔6。

所述樣品平臺(tái)和測(cè)試輔助平臺(tái)上以平臺(tái)縱軸為對(duì)稱軸分別對(duì)稱設(shè)有一對(duì)對(duì)應(yīng)的螺孔5，所述樣品平臺(tái)和測(cè)試輔助平臺(tái)經(jīng)螺絲固定。

所述限位機(jī)構(gòu)包括設(shè)于樣品平臺(tái)上的兩個(gè)定位片3和設(shè)于測(cè)試輔助平臺(tái)上對(duì)應(yīng)于定位片的定位片孔4，所述定位片以平臺(tái)縱軸為對(duì)稱軸對(duì)稱設(shè)置，將定位片孔和定位片對(duì)齊使得測(cè)試輔助平臺(tái)和樣品平臺(tái)重疊在一起。

所述測(cè)試孔以平臺(tái)中心為圓心沿圓周均勻分布于測(cè)試輔助平臺(tái)上，測(cè)試孔數(shù)目設(shè)為四個(gè)。