[實用新型]一種掃描電鏡測試平臺有效
| 申請號： | 201520753550.0 | 申請日： | 2015-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN204927233U | 公開（公告）日： | 2015-12-30 |
| 發明（設計）人： | 李琰琪;王栩生;邢國強 | 申請（專利權）人： | 蘇州阿特斯陽光電力科技有限公司;鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/20;G01N1/28;G01N23/225 |
| 代理公司： | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陸金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掃描電鏡 測試 平臺 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描電鏡測試平臺，包括樣品平臺，其特征在于：所述樣品平臺上層疊設有活動連接的測試輔助平臺，并通過限位機構對所述測試輔助平臺的位置進行限定，所述測試輔助平臺上設有測試孔。
2.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于：所述樣品平臺和測試輔助平臺上以平臺縱軸為對稱軸分別對稱設有一對對稱的螺孔，所述樣品平臺和測試輔助平臺經螺絲固定連接。
3.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于：所述限位機構包括設于樣品平臺上的至少2個定位片和設于測試輔助平臺上對應于所述定位片的定位片孔。
4.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于：所述測試孔至少有2個，以平臺中心為圓心沿圓周均勻分布于測試輔助平臺上。
5.根據權利要求4所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于：所述測試孔的直徑為0.5~5mm。
6.根據權利要求5所述的一種掃描電鏡測試平臺，其特征在于：所述測試孔的直徑為2mm。
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