[實(shí)用新型]火焰水解蒸鍍裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520749111.2
• 申請(qǐng)日: 2015-09-24
• 公開（公告）號(hào): CN205077139U
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 洪承民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 亞綸株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C16/453
• 分類號(hào): C23C16/453;C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 北京青松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種火焰水解蒸鍍裝置，更詳細(xì)地說，涉及一種能夠防止蒸鍍物飛散、提高蒸鍍效率的火焰水解蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

一般地說，光通信系統(tǒng)中使用光耦合器、光開關(guān)，WDM/FDM等各種光部件，為了制作這種光部件，需形成優(yōu)質(zhì)的光波導(dǎo)膜。

用于光通信的光波導(dǎo)及平面型光波導(dǎo)元件為使用在如下情況的、在光通信系統(tǒng)中起到重要作用的元件：將從半導(dǎo)體激光發(fā)出的光線有效地結(jié)合到光纖維而最小化光損失，或者使得具有不同波長(zhǎng)的光信號(hào)多路復(fù)用(multiplexing)而傳送到一個(gè)光纖維，將通過光纖維傳送的(多個(gè)渠道的)光信號(hào)分離為各自不同的波長(zhǎng)，或與被動(dòng)光元件之間的有效結(jié)合。

尤其，在開發(fā)根據(jù)波長(zhǎng)多路復(fù)用的10Gbps以上的超高速光通信系統(tǒng)時(shí)，對(duì)系統(tǒng)的性能產(chǎn)生絕對(duì)影響，屬于用于系統(tǒng)構(gòu)成的、必需的核心部件。

為了制作起到這種重要功能的光波導(dǎo)或波導(dǎo)型光元件，必需形成具有與光纖維相似的折射率分布及結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)膜，為此，必需形成由SiO2構(gòu)成的金屬保護(hù)(Clad)層及摻雜GeO2，P2O5，B2O3，TiO2的核心(Core)層構(gòu)成的二氧化硅厚膜。

作為這種二氧化硅厚膜(silicaThickFilms)的形成方法，公開有使用了火焰水解蒸鍍(FlameHydrolysisDeposition)的方法。火焰水解蒸鍍方法是，根據(jù)供應(yīng)到吹管的氫及氧的反應(yīng)而形成火焰，對(duì)注入到該吹管的SiCl₄及GeCl₄等化合物進(jìn)行火焰水解蒸鍍，從而在晶片上生成SiO₂及其他氧化物摻雜物質(zhì)的方式。

即，對(duì)作為氣體的反應(yīng)化合物進(jìn)行火焰水解蒸鍍，從而生成固體的光波導(dǎo)物質(zhì)并在晶片上進(jìn)行蒸鍍的方法。

利用這種火焰水解來蒸鍍厚膜的裝置已記載于韓國(guó)授權(quán)專利10-0221550號(hào)等。

記載于上述授權(quán)專利的火焰水解蒸鍍裝置的基本構(gòu)成包括：吹管，用于火焰水解蒸鍍；臺(tái)子，用于變更吹管與晶片的相對(duì)位置；轉(zhuǎn)盤，用于使晶片旋轉(zhuǎn)；及排氣部，用于排氣。

但是，用于火焰水解蒸鍍的吹管及排氣部是相互隔離的，因此，反應(yīng)生成物(即固體粒子)不僅飛散到晶片的上部，還飛散到邊緣部，浪費(fèi)了材料并增加了制造費(fèi)用，同時(shí)，裝置受到飛散的生成物的污染，在執(zhí)行反復(fù)的蒸鍍工藝之前，需清洗該裝置，導(dǎo)致生產(chǎn)率下降。

并且，針對(duì)被蒸鍍的反應(yīng)物的厚度均勻性而言，根據(jù)吹管的火焰水解蒸鍍能力、供應(yīng)的氣體量、晶片的旋轉(zhuǎn)速度、排氣量等多種變量的調(diào)整而實(shí)現(xiàn)，但排氣部被隔離而位于吹管的相反面，因此不易于調(diào)整排氣量。

同時(shí)，吹管因火焰的發(fā)生等原因，其壽命比其他部件短，更換時(shí)，需更換整個(gè)吹管，因此會(huì)增加費(fèi)用，在更換吹管的時(shí)間內(nèi)，工藝會(huì)停止而導(dǎo)致生產(chǎn)率的下降。

同時(shí)，現(xiàn)有的吹管因用于發(fā)生火焰的燃燒氣體及反應(yīng)氣體由相同的路徑流入，在供應(yīng)的氣體被混合的狀態(tài)下進(jìn)行處理，因此反應(yīng)率較低。

并且，現(xiàn)有的火焰水解蒸鍍裝置一次只能制作一個(gè)基板，收率(Yield)較低，不利于大量生產(chǎn)，發(fā)生根據(jù)高溫作業(yè)的轉(zhuǎn)臺(tái)16的熱變形或根據(jù)熱膨脹的光元件的翹曲等，導(dǎo)致不良率較高。

實(shí)用新型內(nèi)容

(要解決的技術(shù)問題)

考慮到所述問題的本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供如下的一種火焰水解蒸鍍裝置：能夠防止生成物的飛散而減少材料的浪費(fèi)，能夠進(jìn)行連續(xù)工藝。

同時(shí)，本實(shí)用新型所要解決的另一技術(shù)問題是提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置：可細(xì)微地調(diào)整排氣量而能夠確保被蒸鍍的厚膜的厚度均勻性。

并且，本實(shí)用新型所要解決的又一技術(shù)問題是提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置：能夠延長(zhǎng)主要部件即吹管的壽命，能夠劃分氣體的供應(yīng)路徑而易于火焰的產(chǎn)生，能夠提高反應(yīng)率。

并且，本實(shí)用新型提供一種如下的火焰水解蒸鍍裝置：能夠同時(shí)處理多個(gè)基板并防止轉(zhuǎn)盤的熱變形。

(解決問題的手段)

用于解決如所述的技術(shù)問題的本實(shí)用新型的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，作為通過吹管產(chǎn)生火焰并進(jìn)行加水分解反應(yīng)氣體來生成生成物而蒸鍍?cè)诰系幕鹧嫠庹翦冄b置，所述吹管通過多個(gè)被分開的分歧管而被供應(yīng)所述反應(yīng)氣體及用于生成所述火焰的燃燒氣體，吹管下端的外側(cè)與拆卸式的保護(hù)管結(jié)合而能夠選擇性地僅更換所述保護(hù)管。