[實用新型]火焰水解蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201520749111.2
• 申請日: 2015-09-24
• 公開（公告）號: CN205077139U
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發明（設計）人: 洪承民
• 申請（專利權）人: 亞綸株式會社
• 主分類號: C23C16/453
• 分類號: C23C16/453;C23C16/455;C23C16/40
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種火焰水解蒸鍍裝置，作為通過吹管產生火焰并加水分解反應氣體從而生成生成物蒸鍍在晶片上的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述吹管通過多個被分開的分歧管而被供應所述反應氣體及用于生成所述火焰的燃燒氣體，

吹管下端的外側與拆卸式的保護管結合而能夠選擇性地僅更換所述保護管。

2.根據權利要求1所述的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述吹管包括：

多個噴射管，各自的上部側相互連接，剖面為同心圓，下端是開放的；及

多個分歧管，選擇性地配置于所述多個噴射管，分別將所述反應氣體及所述燃燒氣體供應到所述噴射管。

3.根據權利要求1或2所述的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

在所述吹管的下端外側配置飛散防止部，

所述飛散防止部的一部分連接到排氣管而排出所述飛散防止部內的空氣。

4.根據權利要求3所述的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述飛散防止部，包括：

飛散防止引導部，上端配置用于插入所述吹管的下端部的插入口，下部是開放的；及

管道部，從所述飛散防止引導部的上部一部分向上延長，其末端連接到所述排氣管。

5.根據權利要求1所述的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，還包括：

載入器，使所述吹管進行水平往復運動；及

轉盤，在上面具備收容所述晶片的多個袋，根據馬達旋轉。

6.根據權利要求1所述的火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，還包括：

水平移動部，在上面配置收容所述晶片的多個袋，在所述吹管的下方，相對于所述吹管而向水平方向進行相對運動。

7.一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

傳動裝置(112)，通過電源的供應而驅動；

驅動軸(114)，可聯動地連接到所述傳動裝置(112)；

轉臺(116)，固定結合到所述驅動軸(114)的上端，其上面形成向圓周方向安置晶片(124)的晶片槽(122)，在該晶片(124)的下部，以緊貼的狀態設置加熱器(128)；

機器人(152)，設有為了形成二氧化硅波導厚膜而向所述轉臺(116)的晶片(124)發射反應物的吹管(170)及用于排除所述吹管170發射反應物時產生的不純物的排氣線夾具(172)，與轉臺(116)平行地進行水平往復運動；

升下降工具(130)，使由所述吹管(170)發射反應物而形成二氧化硅波導厚膜的晶片(124)自動地升下降；

電源供應工具，向設置于所述轉臺(116)的下部的加熱器(128)供應電源；及

排氣風門(178)，用于調整通過所述排氣線夾具(172)排出的排氣量。

8.根據權利要求7所述的一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述升下降工具(130)，包括：

杠桿(132)，其一端緊貼晶片(124)底部；

桿(134)，與杠桿(132)的另一端固定、結合；

凸輪(136)，根據電氣性信號而旋轉而使所述桿(134)升下降。

9.根據權利要求7所述的一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述排氣風門(178)，通過聚四氟乙烯撓性軟管(180)連接到排氣線夾具(172)，其前端側設有壓力傳感器(182)，包括馬達(184)，馬達(184)根據由所述壓力傳感器(182)施加的信號而調整閥(186)的旋轉量，從而調整排氣量。

10.根據權利要求7所述的一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

從所述轉臺(116)的晶片槽(122)到驅動軸(114)的下端部為止，形成了真空通道(126)。

11.根據權利要求7所述的一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述機器人(152)被設置到腔室殼(150)側面。

12.根據權利要求7或11所述的一種火焰水解蒸鍍裝置，其特征在于，

所述機器人(152)通過支架(156，158，160)而直接粘貼到基底板(162)，能夠在與轉臺(116)的上面平行的線上進行往復運動。