[實用新型]一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極

有效

• 申請號: 201520718921.1
• 申請日: 2015-09-16
• 公開（公告）號: CN204959025U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 郭愛云;趙燦東;周學卿;黃定平
• 申請（專利權）人: 河源市璐悅自動化設備有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州凱東知識產權代理有限公司 44259
• 代理人: 姚迎新

1.一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極，其特征在于，包括濺射靶、靶套、真空腔體、絕緣座、陰極座、銅背板、可調磁極板、基片架，所述靶套通過第一真空密封圈與所述真空腔體密封連接；所述絕緣座通過第二真空密封圈與所述靶套連接；所述陰極座通過第三真空密封圈與所述絕緣座連接；所述銅背板通過第四真空密封圈與所述陰極座連接；所述陰極座與所述銅背板之間形成冷卻水腔；所述濺射靶固定在所述銅背板上；所述可調磁極板固定在所述冷卻水腔內，所述可調磁極板與所述基片架連接。

2.根據權利要求1所述的一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極，其特征在于，所述靶套緊固連接有陽極座，所述靶套與所述陽極座之間設置有工藝進氣道，所述陽極座上緊固連接有均氣壓板。

3.根據權利要求2所述的一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極，其特征在于，所述可調磁極板設置有S極磁極、N極磁極、極靴座、極靴蓋、磁板定位柱、磁板鎖緊螺母、水密封蓋、調整座、調整桿和調整螺母；所述S極磁極和N極磁極處在所述極靴座與所述極靴蓋之間形成的極靴空間里，所述S極磁極和N極磁極固定在所述磁極板定位柱上，所述磁板鎖緊螺母、所述調整螺母分別與所述調整桿配合連接，所述調整桿通過第五真空密封圈與所述陰極座連接，所述調整螺母固定在所述調整座上。

4.根據權利要求3所述的一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極，其特征在于，所述陰極座設置有進水孔和出水孔，所述進水孔和出水孔分別與所述冷卻水腔相連。

5.根據權利要求4所述的一種磁控濺射鍍膜用的平面陰極，其特征在于，所述絕緣座的材料為聚甲醛。