[實用新型]一種簡易的氣體混合腔有效
| 申請號: | 201520717288.4 | 申請日: | 2015-09-16 |
| 公開(公告)號: | CN205223346U | 公開(公告)日: | 2016-05-11 |
| 發明(設計)人: | 彭釋;張菁;李煒 | 申請(專利權)人: | 東華大學 |
| 主分類號: | C23C16/455 | 分類號: | C23C16/455 |
| 代理公司: | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人: | 翁若瑩 |
| 地址: | 201620 上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 簡易 氣體 混合 | ||
1.一種簡易的氣體混合腔,包括腔體(1)及出氣口(6),其特征在于,腔體 (1)開有第一進氣口(2)及第二進氣口(3),在腔體(1)內設有沿寬度方向 等間距排列的第一分流管道(4)及沿長度方向等間距排列的第二分流管道(5), 第一分流管道(4)及第二分流管道(5)分別與第一進氣口(2)及第二進氣口 (3)相通,第一分流管道(4)及第二分流管道(5)還與混氣管道相通,混氣 管道與出氣口相通。
2.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所述腔體(1) 為長方體。
3.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所述第一進氣口 (2)及第二進氣口(3)為圓孔,并分別設有流量調節閥。
4.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所有所述第一分 流管道(4)及第二分流管道(5)的直徑一致。
5.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所有所述第一分 流管道(4)和第二分流管道(5)位于同一高度。
6.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所述第一分流管 道(4)與所述第二分流管道(5)相互垂直,或所述第一分流管道(4)與所述 第二分流管道(5)間呈銳角夾角。
7.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所述出氣口(6) 為長方形扁平狀或圓形小孔。
8.如權利要求1所述的一種簡易的氣體混合腔,其特征在于:所述混合腔選用 聚四氟乙烯或可切割陶瓷材料,通過簡單鉆孔技術加工。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





