[實用新型]一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構

有效

• 申請號: 201520710802.1
• 申請日: 2015-09-15
• 公開（公告）號: CN204939601U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 侯玉萍;王洪權;劉野;馬槽偉
• 申請（專利權）人: 大連維鈦克科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及翻轉機構技術領域，特別涉及一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構。

背景技術

現有電弧陰極體翻轉機構比較復雜，滑動桿較長，體積較大，當靶間距較小時，翻轉后滑動桿與相鄰電弧體相干涉，無法滿足靶間距小的電弧。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術的不足，適應現實需要，提供一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構，從而解決上述問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構，包括接線柱，所述接線柱通過接線螺母固定在電弧陰極體上，所述電弧陰極體設置在密封壓板上，所述密封壓板的一端設有翻轉板、緊定螺釘和軌道板，所述翻轉板通過緊定螺釘固定在軌道板上，所述密封壓板的另一端設有把手、彈簧壓緊手柄、電弧陰極體固定板和O型密封圈，所述把手設置在密封壓板上，所述彈簧壓緊手柄設置在密封壓板的最外端，所述電弧陰極體固定板的外邊側設有O型密封圈，所述翻轉板上設有圓柱銷和軸套，所述軸套設置在圓柱銷的外表面。

以上所述的一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構，其特征為所述電弧陰極體底部設有輔助陰極和靶材，所述輔助陰極設置在靶材的外邊側。

以上所述的一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構，其特征為所述靶材與靶面處在同一水平面上。

本實用新型所達到的有益效果是：本裝置采用圓柱銷-軸套結構可使電弧陰極整體滑出，更換靶材及維修、維護時，可使靶材完全置于真空室外部，并使整體旋轉90度，使靶面處于水平位置，操作方便，運動平穩，圓柱銷-軸套結構簡單，便于加工，體積小，適用于靶間距較小的電弧陰極體。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。

在附圖中：

圖1是本實用新型實施例所述一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構的結構示意圖；

圖2是本實用新型實施例所述一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構圓柱銷和軸套的結構示意圖；

圖3是本實用新型實施例所述一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構靶材的結構示意圖；

圖示：1、接線柱；2、接線螺母；3、電弧陰極體；4、把手；5、密封壓板；6、彈簧壓緊手柄；7、電弧陰極體固定板；8、O型密封圈；9、輔助陰極；10、靶材；11、翻轉板；12、緊定螺釘；13、軌道板；14、圓柱銷；15、軸套。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的優選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優選實施例僅用于說明和解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例：如圖1-3所示，本實用新型一種真空鍍膜設備電弧陰極翻轉機構，包括接線柱1，所述接線柱1通過接線螺母2固定在電弧陰極體3上，所述電弧陰極體3設置在密封壓板5上，所述密封壓板5的一端設有翻轉板11、緊定螺釘12和軌道板13，所述翻轉板11通過緊定螺釘12固定在軌道板13上，所述密封壓板5的另一端設有把手4、彈簧壓緊手柄6、電弧陰極體固定板7和O型密封圈8，所述把手4設置在密封壓板5上，所述彈簧壓緊手柄6設置在密封壓板5的最外端，所述電弧陰極體固定板7的外邊側設有O型密封圈8，所述翻轉板11上設有圓柱銷14和軸套15，所述軸套15設置在圓柱銷14的外表面。

所述電弧陰極體3底部設有輔助陰極9和靶材10，所述輔助陰極9設置在靶材10的外邊側，所述靶材10與靶面處在同一水平面上，手動拉起彈簧壓緊手柄6，彈簧壓緊手柄6的定位直口脫離密封壓板5定位槽后旋轉90°，手握把手4向前用力，由于兩個翻轉板11中裝有圓柱銷14和軸套15，電弧陰極體3可在軌道板13上輕松、平穩滑動，當軸套15接觸到軌道板13長條孔側壁時，滑動停止，此時電弧陰極體3已經處于真空室外，手握把手4向下用力，翻轉板11帶動電弧陰極體3以圓柱銷14為中心旋轉90°，使靶材10和靶面處于水平位置，方便更換靶材10，同時電弧陰極體3處于外部較大空間內，便于對其進行維修、維護。

最后應說明的是：以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。