[實(shí)用新型]一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520710802.1
• 申請(qǐng)日: 2015-09-15
• 公開（公告）號(hào): CN204939601U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯玉萍;王洪權(quán);劉野;馬槽偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連維鈦克科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括接線柱（1），其特征在于，所述接線柱（1）通過接線螺母（2）固定在電弧陰極體（3）上，所述電弧陰極體（3）設(shè)置在密封壓板（5）上，所述密封壓板（5）的一端設(shè)有翻轉(zhuǎn)板（11）、緊定螺釘（12）和軌道板（13），所述翻轉(zhuǎn)板（11）通過緊定螺釘（12）固定在軌道板（13）上，所述密封壓板（5）的另一端設(shè)有把手（4）、彈簧壓緊手柄（6）、電弧陰極體固定板（7）和O型密封圈（8），所述把手（4）設(shè)置在密封壓板（5）上，所述彈簧壓緊手柄（6）設(shè)置在密封壓板（5）的最外端，所述電弧陰極體固定板（7）的外邊側(cè)設(shè)有O型密封圈（8），所述翻轉(zhuǎn)板（11）上設(shè)有圓柱銷（14）和軸套（15），所述軸套（15）設(shè)置在圓柱銷（14）的外表面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于,所述電弧陰極體（3）底部設(shè)有輔助陰極（9）和靶材（10），所述輔助陰極（9）設(shè)置在靶材（10）的外邊側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜設(shè)備電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于,所述靶材（10）與靶面處在同一水平面上。