[實用新型]一種具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡

有效

• 申請號: 201520693103.0
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN204945619U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 曹常瑜
• 申請（專利權）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/22
• 代理公司: 合肥天明專利事務所 34115
• 代理人: 宋倩;袁由茂

技術領域

本實用新型涉及半導體光刻機技術領域，具體是一種具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡。

背景技術

光刻投影物鏡是光刻機的核心部件，印刷線路板激光直寫曝光成像設備一般配置多個光頭，每個光頭需要調節單個DMD的場內拼接，場內拼接需要調節物鏡倍率和DMD的傾斜角度。目前光刻物鏡多為遠心物鏡，需要將遠心度控制到一定指標內。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種調節簡單方便的具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡。

本實用新型的技術方案為：

一種具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡，從物面開始，沿光軸依次包括具有正焦距的第一透鏡組、光闌、具有負焦距的第二透鏡組、具有正焦距的單片倍率調節透鏡和曝光焦面；

所述倍率調節透鏡與所述第二透鏡組之間滿足以下關系：

0.8≤d/f≤1.2

其中，d表示所述倍率調節透鏡與所述第二透鏡組之間的距離，f表示所述倍率調節透鏡的焦距，f≥200mm。

所述的具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡，所述物面為DMD微鏡。

由上述技術方案可知，本實用新型設計合理，易于實現，操作便捷，在倍率調節的同時能夠滿足光刻物鏡的畸變、遠心度等指標要求。

附圖說明

圖1是本實用新型的光學結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例進一步說明本實用新型。

如圖1所示，一種具有倍率微調功能的光刻遠心物鏡，從物面1開始，沿光軸2方向，依次設有第一透鏡組3、光闌4、第二透鏡組5、倍率調節透鏡6和曝光焦面7。其中，物面1為DMD微鏡；第一透鏡組3具有正焦距，由若干片透鏡構成；第二透鏡組5具有負焦距，由若干片透鏡構成；倍率調節透鏡6具有正焦距，為單片透鏡。

第二透鏡組5與倍率調節透鏡6之間的距離d接近倍率調節透鏡6的焦距f，f≥200mm，具體滿足以下關系：

0.8≤d/f≤1.2

不難理解，由于第二透鏡組5由若干片透鏡構成，此處的d即為最靠近倍率調節透鏡6的那片透鏡與倍率調節透鏡6之間的距離。

第一透鏡組3為物鏡的前透鏡組，第二透鏡組5與倍率調節透鏡6一起構成物鏡的后透鏡組，整個物鏡的倍率由前透鏡組的焦距和后透鏡組的焦距確定。本實用新型通過簡單的機械螺紋旋轉即可以調節倍率，即沿光軸方向前后移動（倍率調節透鏡6可以前后移動+/-1mm），倍率調節簡單方便。

以上所述實施方式僅僅是對本實用新型的優選實施方式進行描述，并非對本實用新型的范圍進行限定，在不脫離本實用新型設計精神的前提下，本領域普通技術人員對本實用新型的技術方案作出的各種變形和改進，均應落入本實用新型的權利要求書確定的保護范圍內。