[實(shí)用新型]一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520693103.0
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN204945619U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹常瑜
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/22
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 宋倩;袁由茂

1.一種具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，其特征在于：從物面開始，沿光軸依次包括具有正焦距的第一透鏡組、光闌、具有負(fù)焦距的第二透鏡組、具有正焦距的單片倍率調(diào)節(jié)透鏡和曝光焦面；

所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間滿足以下關(guān)系：

0.8≤d/f≤1.2

其中，d表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡與所述第二透鏡組之間的距離，f表示所述倍率調(diào)節(jié)透鏡的焦距，f≥200mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有倍率微調(diào)功能的光刻遠(yuǎn)心物鏡，其特征在于：所述物面為DMD微鏡。