[實(shí)用新型]金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520692280.7
• 申請(qǐng)日: 2015-09-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204885100U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏禹
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（天津）有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/66
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：第一測(cè)試件和第二測(cè)試件，所述第一測(cè)試件呈蛇形結(jié)構(gòu)，所述第二測(cè)試件圍繞所述第一測(cè)試件設(shè)置，所述第一測(cè)試件從一端到另一端的線寬逐漸增大。

2.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一測(cè)試件和所述第二測(cè)試件之間的距離為一恒定值，所述恒定值大于等于金屬互連線的最小間距。

3.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一測(cè)試件的最小線寬為金屬互連線的最小線寬。

4.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一測(cè)試件的線寬每次增大的寬度為一固定寬度。

5.如權(quán)利要求4所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定寬度為所述第一測(cè)試件的最小線寬。

6.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二測(cè)試件為相對(duì)交錯(cuò)的梳狀結(jié)構(gòu)，且所述梳狀結(jié)構(gòu)的梳齒的最小寬度為所述第一測(cè)試件的最小線寬。

7.如權(quán)利要求6所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一測(cè)試件的第一端到第二端的線寬逐漸增大。

8.如權(quán)利要求7所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二測(cè)試件的第一端與所述第一測(cè)試件的第一端對(duì)應(yīng)，所述第二測(cè)試件的第二端與所述第一測(cè)試件的第二端對(duì)應(yīng)，所述第二測(cè)試件的第一端的梳齒的寬度最小，所述第二測(cè)試件的第二端的梳齒的寬度最大。

9.如權(quán)利要求1所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一測(cè)試件的第二端到第一端的線寬逐漸增大。

10.如權(quán)利要求9所述的金屬互連線的橋連測(cè)試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二測(cè)試件的第一端與所述第一測(cè)試件的第一端對(duì)應(yīng)，所述第二測(cè)試件的第二端與所述第一測(cè)試件的第二端對(duì)應(yīng)，所述第二測(cè)試件的第一端的梳齒的寬度最大，所述第二測(cè)試件的第二端的梳齒的寬度最小。