[實用新型]用于硅片切割砂漿的金屬離子吸收裝置

有效

• 申請號: 201520682309.3
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204894262U
• 公開（公告）日: 2015-12-23
• 發明（設計）人: 張鵬杰;李詠梅;孔德龍;李金東;牛龍;金鵬;馮海剛
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 宋秀珍

技術領域

本實用新型屬硅片切割技術領域，具體涉及一種用于硅片切割砂漿的金屬離子吸收裝置。

背景技術

硅片加工領域中，多線切割是硅片加工最常用的一種加工方式。在切片機正常運行及人員操作穩定的情況下，硅片加工質量和切割過程的穩定性主要取決于砂漿的質量。目前砂漿在使用過程中存在以下問題：一是切片工藝需要用到鋼線，在鋼線高速運動帶動砂漿磨削單多晶晶塊的同時，鋼線本身也被磨損，通常鋼線的磨損量從幾個μm到幾十個μm不等，由于鋼線被磨削下來的小尺寸金屬離子通常在小于1μm的量級很容易懸浮在砂漿中，易導致砂漿質量變差，使切割能力減弱；二是金屬離子中的鐵成分會有部分溶于砂漿，使臟片發生概率增大，且使得整個砂漿循環系統中回收砂漿質量下降；三是砂漿中的雜質成分即金屬離子導致切割硅片表面出現雜質劃痕或線痕，從而增加了切片過程中的隱裂片、厚薄片、線痕片、缺角片和碎片的比例，切片優良率及效益受到影響。因此有必要提出改進。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題：提供一種用于硅片切割砂漿的金屬離子吸收裝置，將裝有磁鐵的支架固定于切片機內部和外部過濾系統中，通過磁鐵對砂漿中的金屬離子特別是鐵離子進行吸附，提升回收砂漿的品質，降低砂漿使用成本，減少線痕片、劃傷片及臟片等的發生率，有效保證硅片表面質量。

本實用新型采用的技術方案：用于硅片切割砂漿的金屬離子吸收裝置，包括支架和磁鐵，所述支架包括與硅片切片機固定連接的法蘭盤，所述法蘭盤上設有支撐板，所述磁鐵通過銷釘固定于支撐板上。

其中，所述磁鐵上均勻設有多個孔。

進一步地，所述法蘭盤上設有四個支撐板，所述四個支撐板排成四方鏤空結構，所述磁鐵與支撐板間隙配合，所述支撐板上設有銷孔，所述銷釘兩端與銷孔適配并對磁鐵進行限位。

進一步地，所述法蘭盤上設有固定螺紋孔，螺釘穿過固定螺紋孔將法蘭盤固定在硅片切片機上。

進一步地，所述法蘭盤和支撐板均采用不銹鋼制成。

本實用新型與現有技術相比的優點：

1、通過支架將磁鐵固定于切片機過內外濾系統中，磁鐵對砂漿中的金屬離子特別是鐵離子進行吸附，提升回收砂漿的品質，降低砂漿使用成本，減少金屬離子磨削硅片造成的線痕片、劃傷片及臟片等不合格品的發生率，有效保證硅片表面質量；

2、磁鐵上均勻設有多個孔，使磁鐵呈多孔狀，有利于砂漿順暢流動；

3、磁鐵通過銷釘固定于支架上，并且法蘭盤通過螺釘固定于切片機上，可方便的對磁鐵進行拆裝，定期對磁鐵進行更換和清理；

4、法蘭盤和支撐板均采用不銹鋼制成，防止使用過程中對砂漿再次造成污染。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖1描述本實用新型的實施例。

用于硅片切割砂漿的金屬離子吸收裝置，包括支架1和磁鐵2，所述磁鐵2上均勻設有多個孔21，使磁鐵2形成多孔結構，有利于砂漿流動，減小對砂漿流動的阻力。所述支架1包括與硅片切片機固定連接的法蘭盤11，所述法蘭盤11上設有固定螺紋孔111，螺釘穿過固定螺紋孔111將法蘭盤11固定在硅片切片機上；所述法蘭盤11上設有支撐板12，具體的，所述支撐板12的個數采用四個，所述四個支撐板12排成四方鏤空結構，所述磁鐵2與支撐板12間隙配合，防止磁鐵2磨損而導致其磁力下降，影響其使用效果，所述支撐板12上設有銷孔121，所述銷釘13兩端與銷孔121適配并對磁鐵2進行固定限位。上述支架1與切片機的固定方式及磁鐵2與支架1的固定方式，都有利于磁鐵2的拆裝，對磁鐵2進行更換或對且表面進行周期性清理，保證磁鐵2的吸附性能。所述法蘭盤11和支撐板12均采用不銹鋼制成，防止本裝置在使用過程對砂漿造成二次污染。

使用時，將本實用新型通過法蘭盤1固定于切片機內部砂漿循環及過濾系統中，或安裝于切片機外部砂漿循環及過濾系統中，磁鐵2對砂漿中的金屬離子特別是鐵離子進行吸附，減少回收砂漿中金屬顆粒含量，提升回收砂漿的品質，降低砂漿使用成本；同時，減少金屬離子對硅片磨削而造成的隱裂片、厚薄片、線痕片、劃傷片及臟片等不合格品的發生率，提高硅片表面質量；本實用新型結構簡單，體積小，節約空間，制造成本低。

上述實施例，只是本實用新型的較佳實施例，并非用來限制本實用新型實施范圍，故凡以本實用新型權利要求所述內容所做的等效變化，均應包括在本實用新型權利要求范圍之內。