[實(shí)用新型]一種用于小型電子芯片的清理裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520681000.2 | 申請(qǐng)日: | 2015-09-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN204946869U | 公開(公告)日: | 2016-01-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張幫嶺 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 銅陵晶越電子有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 銅陵市天成專利事務(wù)所 34105 | 代理人: | 程霏 |
| 地址: | 244000 安徽省銅*** | 國(guó)省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 小型 電子 芯片 清理 裝置 | ||
1.一種用于小型電子芯片的清理裝置,包括機(jī)架(1),其特征是所述機(jī)架(1)上設(shè)有兩個(gè)并排排布的皮帶傳送帶(2),所述兩個(gè)皮帶傳送帶(2)之間設(shè)有傳動(dòng)輪,傳送輪(7)被兩個(gè)皮帶傳送帶(2)所驅(qū)動(dòng),所述傳動(dòng)輪(7)連接鐵質(zhì)鏈輪(8),位于前端的皮帶傳送帶(2)上設(shè)有防護(hù)罩(3),所述防護(hù)罩(3)的內(nèi)腔頂端設(shè)有靜電盒(4),所述靜電盒(4)內(nèi)設(shè)有靜電發(fā)生器,所述靜電發(fā)生器通過導(dǎo)桿(5)連接細(xì)毛刷(6),所述細(xì)毛刷(6)位于皮帶傳送帶(2)的正上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于小型電子芯片的清理裝置,其特征是所述鐵質(zhì)鏈輪(8)通過導(dǎo)線接地。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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