[實用新型]一種用于小型電子芯片的清理裝置有效
| 申請號: | 201520681000.2 | 申請日: | 2015-09-06 |
| 公開(公告)號: | CN204946869U | 公開(公告)日: | 2016-01-06 |
| 發明(設計)人: | 張幫嶺 | 申請(專利權)人: | 銅陵晶越電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 銅陵市天成專利事務所 34105 | 代理人: | 程霏 |
| 地址: | 244000 安徽省銅*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 小型 電子 芯片 清理 裝置 | ||
1.一種用于小型電子芯片的清理裝置,包括機架(1),其特征是所述機架(1)上設有兩個并排排布的皮帶傳送帶(2),所述兩個皮帶傳送帶(2)之間設有傳動輪,傳送輪(7)被兩個皮帶傳送帶(2)所驅動,所述傳動輪(7)連接鐵質鏈輪(8),位于前端的皮帶傳送帶(2)上設有防護罩(3),所述防護罩(3)的內腔頂端設有靜電盒(4),所述靜電盒(4)內設有靜電發生器,所述靜電發生器通過導桿(5)連接細毛刷(6),所述細毛刷(6)位于皮帶傳送帶(2)的正上方。
2.根據權利要求1所述的一種用于小型電子芯片的清理裝置,其特征是所述鐵質鏈輪(8)通過導線接地。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





