[實用新型]一種用于小型電子芯片的清理裝置

有效

• 申請號: 201520681000.2
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204946869U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 張幫嶺
• 申請（專利權）人: 銅陵晶越電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 銅陵市天成專利事務所 34105
• 代理人: 程霏

技術領域

本實用新型涉及電子芯片領域，尤其涉及一種用于小型電子芯片的清理裝置。

背景技術

芯片（chip）就是半導體元件產品的統稱。是集成電路（IC,integratedcircuit）的載體，由晶圓分割而成。芯片由于其自身的要求，需要本身無污染，不能具有小灰塵等。小型芯片由于體積小，硅片多，更是難以保證其自身的整潔性，從而影響整體質量。

實用新型內容

本實用新型的目的是解決現有技術的不足，提供一種方便、快捷的用于小型芯片清理的清理裝置。

本實用新型采用的技術方案是：一種用于小型電子芯片的清理裝置，包括機架，所述機架上設有兩個并排排布的皮帶傳送帶，所述兩個皮帶傳送帶之間設有傳動輪，傳送輪被兩個皮帶傳送帶所驅動，所述傳動輪連接鐵質鏈輪，位于前端的皮帶傳送帶上設有防護罩，所述防護罩的內腔頂端設有靜電盒，所述靜電盒內設有靜電發生器，所述靜電發生器通過導桿固接細毛刷，所述細毛刷位于皮帶傳送帶的正上方。

作為本實用新型的進一步改進，所述鐵質鏈輪通過導線接地。

本實用新型采用的有益效果是：本實用新型利用帶電體吸引微小物體的物理特性對小型芯片進行清理，并通過位于傳送帶之間的鐵質鏈輪對小型芯片進行去靜電保護，從而有效的去處小型芯片在加工時所粘附的雜質。本實用新型結構簡單、使用方便，能夠快速有效的清理小型芯片，降低人工工作強度。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖。

圖2為本實用新型俯視圖。

圖中所示：1機架，2皮帶傳送帶，3防護罩，4靜電盒，5導桿，6細毛刷，7傳動輪，8鐵質鏈輪。

具體實施方式

下面結合圖1和圖2，對本實用新型做進一步的說明。

如圖所示，一種用于小型電子芯片的清理裝置，包括機架1，所述機架1上設有兩個并排排布的皮帶傳送帶2，所述兩個皮帶傳送帶2之間設有傳動輪，傳送輪7被兩個皮帶傳送帶2所驅動，所述傳動輪7連接鐵質鏈輪8，位于前端的皮帶傳送帶2上設有防護罩3，所述防護罩3的內腔頂端設有靜電盒4，所述靜電盒4內設有靜電發生器，所述靜電發生器通過導桿5連接細毛刷6，所述細毛刷6位于皮帶傳送帶2的正上方。

本實用新型是如下工作的，小型芯片位于皮帶傳送帶上，通過皮帶傳送帶的傳送進入防護罩內，靜電發生器確保細毛刷帶有靜電，當芯片通過細毛刷時，細毛刷將芯片上的微小顆粒吸附住。芯片繼續沿皮帶傳送帶前進，通過鐵質鏈輪時，將芯片上的靜電去除，從而保護芯片不被靜電所影響。鐵質鏈輪由傳動輪所驅動，傳送輪被皮帶傳送帶所驅動。

為進一步保護芯片不被靜電所影響，所述鐵質鏈輪8通過導線接地。

本實用新型利用帶電體吸引微小物體的物理特性對小型芯片進行清理，并通過位于傳送帶之間的鐵質鏈輪對小型芯片進行去靜電保護，從而有效的去處小型芯片在加工時所粘附的雜質。本實用新型結構簡單、使用方便，能夠快速有效的清理小型芯片，降低人工工作強度。

本領域技術人員應當知曉，本實用新型的保護方案不僅限于上述的實施例，還可以在上述實施例的基礎上進行各種排列組合與變換，在不違背本實用新型精神的前提下，對本實用新型進行的各種變換均落在本實用新型的保護范圍內。