[實用新型]激振裝置

有效

• 申請號: 201520669529.2
• 申請日: 2015-08-31
• 公開（公告）號: CN204953279U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 松本繁;宮下博至;村內一宏;遠藤稔
• 申請（專利權）人: 國際計測器株式會社
• 主分類號: B06B1/04
• 分類號: B06B1/04
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;季向岡

技術領域

本實用新型涉及激振裝置。

背景技術

已知有在正交3軸方向上對振動臺進行激振的3軸激振裝置。為了在正交3軸方向上進行激振，例如需要將振動臺與在Z軸方向上對該振動臺進行激振的Z軸致動器利用2軸滑塊以在X軸和Y軸方向上可滑動的方式連結。

在專利文獻1中記載了通過使用由液壓軸承構成的2軸滑塊來實現3軸激振的激振裝置。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特公昭49-7171號公報

實用新型內容

實用新型要解決的技術問題

但是，液壓軸承當例如以超過1kHz那樣的高的頻率進行動作時，存在摩擦熱蓄積而使潤滑油起火的情況。因此，不能夠實現可在高頻下進行多軸(2軸或3軸)激振的激振裝置。

本實用新型是鑒于上述問題而完成的，其目的在于實現高頻下的多軸激振。

用于解決問題的技術方案

根據本實用新型一實施方式，提供一種激振裝置，其包括：固定部；相對于固定部可移動的振動臺；在第一方向上驅動振動臺的驅動部；和通過滾動接觸而在與第一方向垂直的第二方向上可滑動地連結驅動部與振動臺的連結部。

在上述激振裝置中，可以為以下結構，連結部包括：直線導向器，其在與第一方向垂直的方向上通過滾動接觸來引導振動臺相對于驅動部的移動；和連結驅動部與直線導向器的框架，直線導向器包括：在與第一方向垂直的方向上延伸的軌道；和在該軌道上移動的滑架，框架包括：固定于驅動部的底板；和設立在該底板上的連結板，連結板的規定方向上的前端形成有與該規定方向垂直的前端面，軌道安裝于該前端面。

在上述激振裝置中，可以為以下結構，連結板的第二方向上的寬度在前端面中與軌道的長度相當，在與底板接合的基端面中與該底板的寬度相當，底板的第二方向上的寬度與安裝該底板的驅動部的振動臺的頂板的寬度相當，連結板的第二方向上的寬度隨著從前端面接近基端面而逐漸變窄，軌道的長度大于底板的第二方向上的寬度。

在上述激振裝置中，可以為以下結構，直線導向器包括：第一直線導向器；和引導方向與該第一直線導向器正交的第二直線導向器，第二直線導向器的第二滑架固定于第一直線導向器的第一滑架，第一直線導向器的第一軌道固定于框架，第二直線導向器的第二軌道固定于振動臺，直線導向器包括n個第二直線導向器，其中，n為自然數，第一直線導向器包括：1條第一軌道；和在該第一軌道上移動的n個第一滑架，第二直線導向器包括：1條第二軌道；和在第二軌道上移動的1個第二滑架，第二滑架各自固定于對應的第一滑架，n個第二直線導向器的第二軌道固定于振動臺，n個第二直線導向器的第二軌道等間隔地配置在第一軌道的延長方向上。

在上述激振裝置中，可以為以下結構，滑架包括：滑架主體；和夾在軌道與滑架主體之間，伴隨滑架的移動而在軌道的軌道面上滾動的多個滾動體，滑架主體具有：滾動面，其與軌道的軌道面相對，夾在滾動面與該軌道面之間的滾動體在滾動面上滾動；和連通路徑，在其兩端，與形成在軌道的軌道面與滾動面之間的間隙連通，形成滾動體循環路徑，滑架包括：比滾動體柔軟的多個間隔件，該間隔件設置在滾動體間，與多個滾動體一同在滾動體循環路徑循環；和連結多個間隔件的柔軟的帶狀物，間隔件和帶狀物由樹脂形成為一體，滾動體為圓柱狀或球狀，軌道的至少一個固定于振動臺，固定于振動臺的軌道的延伸方向為鉛垂方向，在軌道形成有用于安裝該軌道的多個軌道安裝孔，軌道的延伸方向上的軌道安裝孔的間隔s在以下(a)～(e)的任一范圍內，(a)軌道的寬度W的2倍以下，(b)軌道的寬度W的3/2倍以下，(c)軌道的寬度W以下，(d)軌道的寬度W的50％至80％，(e)軌道的寬度W的60％至70％。

在上述激振裝置中，可以為以下結構，驅動部包括：在X軸方向上驅動振動臺的X軸驅動部；和在與X軸方向正交的Y軸方向上驅動振動臺的Y軸驅動部，連結部包括：在Y軸方向上可滑動地連結X軸驅動部與振動臺的X軸連結部；和在X軸方向上可滑動地連結Y軸驅動部與振動臺的Y軸連結部，X軸連結部包括作為直線導向器的Y軸直線導向器，該Y軸直線導向器在Y軸方向上通過滾動接觸來引導振動臺相對于X軸驅動部的移動，Y軸連結部包括作為直線導向器的X軸直線導向器，該X軸直線導向器在X軸方向上通過滾動接觸來引導振動臺相對于Y軸驅動部的移動。