[實(shí)用新型]擺動裝置及蝕刻機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520667539.2
• 申請日: 2015-08-31
• 公開（公告）號: CN205011839U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭江濤;馮子漢;陳王龍;尹達(dá)
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波比亞迪半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蝕刻機(jī)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種擺動裝置及蝕刻機(jī)。

背景技術(shù)

蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)，在半導(dǎo)體和線路板制作過程中，蝕刻是不可或缺的技術(shù)。蝕刻機(jī)是用于對材料進(jìn)行蝕刻的專用設(shè)備。以鎳銀蝕刻機(jī)(Ni&Ag-Etch)為例，其作用是將晶圓(wafer)表面的鎳銀合金通過化學(xué)腐蝕的方法去除。在大批量的生產(chǎn)過程中，將25片晶圓放置在卡塞(cassette)中，晶圓之間間隙很小，并且隨著反應(yīng)的進(jìn)行反應(yīng)液(硝酸和冰醋酸)的濃度會發(fā)生相應(yīng)變化，這就導(dǎo)致晶圓上某些部位產(chǎn)生蝕刻不干凈或者不均勻的問題，需要重新返工，甚至晶圓報(bào)廢。目前生產(chǎn)中常用的解決方案是用人工擺動卡塞的方式，以1Hz～2Hz的頻率在7分鐘的蝕刻周期內(nèi)連續(xù)擺動，才能達(dá)到相對理想的蝕刻效果。

人工擺動的方式有很多缺點(diǎn)。首先，一套晶圓加卡塞的重量大約為3Kg，讓員工長時(shí)間擺動會導(dǎo)致勞動強(qiáng)度的大大增加，進(jìn)而影響工作效率。其次，蝕刻過程中的反應(yīng)液具有強(qiáng)腐蝕性，人工擺動的過程中可能會濺起酸液，對員工的人身安全產(chǎn)生危害。與此同時(shí)，人工擺動的過程中由于其擺動軌跡的偶然性，可能會導(dǎo)致晶圓與反應(yīng)槽發(fā)生碰撞，進(jìn)而損壞晶圓導(dǎo)致報(bào)廢?？偠灾?，人工擺動的方式不僅影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，而且對員工人身安全也具有危害。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于，針對當(dāng)前蝕刻機(jī)操作過程中采用人工擺動卡塞方式，導(dǎo)致產(chǎn)品效率低、質(zhì)量無法保證，且存在安全隱患的問題，提供一種可自動化擺動的擺動裝置及蝕刻機(jī)，提高產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和效率，降低產(chǎn)品不良率，同時(shí)可避免安全隱患。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種擺動裝置，所述擺動裝置應(yīng)用于蝕刻機(jī)，包括：載物機(jī)構(gòu)、擺動機(jī)構(gòu)和動力機(jī)構(gòu)；所述擺動機(jī)構(gòu)與所述載物機(jī)構(gòu)相連；所述動力機(jī)構(gòu)與所述擺動機(jī)構(gòu)相連，用于控制所述擺動機(jī)構(gòu)帶動所述載物機(jī)構(gòu)上下往復(fù)運(yùn)動。

優(yōu)選地，所述擺動機(jī)構(gòu)包括曲柄滑塊機(jī)構(gòu)；所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑塊、第一連桿、第二連桿和第三連桿；

所述導(dǎo)軌沿上下方向設(shè)置；

所述滑塊與所述第三連桿的一端相連，并與所述導(dǎo)軌相配合；

所述第一連桿的一端與所述動力機(jī)構(gòu)固定相連，另一端與所述第二連桿的一端可轉(zhuǎn)動相連；

所述第三連桿的另一端與所述載物機(jī)構(gòu)固定相連。

優(yōu)選地，所述擺動裝置還包括箱體；所述動力機(jī)構(gòu)和所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述箱體內(nèi)；所述導(dǎo)軌固定在所述箱體內(nèi)側(cè)；所述第三連桿所述載物機(jī)構(gòu)固定相連的一端伸出所述箱體。

優(yōu)選地，所述箱體外設(shè)有耐腐蝕保護(hù)層。

優(yōu)選地，所述載物機(jī)構(gòu)包括載物籃；所述載物籃包括方形籃體、連接件和支撐件；

所述連接件連接所述方形籃體和所述第三連桿；

所述支撐件一端固定在所述方形籃體上，另一端固定在所述連接件上。

所述方形籃體、連接件和支撐件形成三角形穩(wěn)定結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述載物籃外設(shè)有耐腐蝕保護(hù)層。

優(yōu)選地，所述第一連桿和所述第二連桿通過第一銷釘相連并可繞所述第一銷釘轉(zhuǎn)動，所述第二連桿和所述第三連桿通過第二銷釘相連并可繞所述第二銷釘轉(zhuǎn)動。

本實(shí)用新型還提供一種蝕刻機(jī)，包括機(jī)臺和設(shè)置在機(jī)臺上的反應(yīng)槽；還包括支架和前述擺動裝置；所述支架設(shè)置在所述機(jī)臺上；所述擺動裝置放置在所述支架上，且所述載物機(jī)構(gòu)部分進(jìn)入所述反應(yīng)槽內(nèi)。

優(yōu)選地，所述支架包括兩個支撐臂和至少兩個支撐桿；所述兩個支撐臂平行相對設(shè)置在所述機(jī)臺上；所述至少兩個支撐桿平行間隔設(shè)置在所述支撐臂上；所述擺動機(jī)構(gòu)和動力機(jī)構(gòu)放置在所述至少兩個支撐桿上。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型所提供的擺動裝置，通過動力機(jī)構(gòu)控制擺動機(jī)構(gòu)帶動載物機(jī)構(gòu)上下往復(fù)運(yùn)動，以實(shí)現(xiàn)自動化擺動，提高產(chǎn)品生產(chǎn)效率和質(zhì)量，降低人工成本，且可有效避免人工擺動過程中存在的安全隱患。

附圖說明

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，附圖中：

圖1是實(shí)施例1中擺動裝置的一狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1中A部分的爆炸圖。

圖3是實(shí)施例2中擺動裝置的另一狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3中B部分的爆炸圖。

圖5是實(shí)施例2中蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。