[實用新型]擺動裝置及蝕刻機

有效

• 申請號: 201520667539.2
• 申請日: 2015-08-31
• 公開（公告）號: CN205011839U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 郭江濤;馮子漢;陳王龍;尹達
• 申請（專利權）人: 寧波比亞迪半導體有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種擺動裝置，所述擺動裝置應用于蝕刻機，其特征在于，包括：載物機構(110)、擺動機構(120)和動力機構(130)；所述擺動機構(120)與所述載物機構(110)相連；所述動力機構(130)與所述擺動機構(120)相連，用于控制所述擺動機構(120)帶動所述載物機構(110)上下往復運動。

2.根據權利要求1所述的擺動裝置，其特征在于，所述擺動機構(120)包括曲柄滑塊機構(121)；所述曲柄滑塊機構(121)包括導軌(1211)、滑塊(1212)、第一連桿(1213)、第二連桿(1214)和第三連桿(1215)；

所述導軌(1211)沿上下方向設置；

所述滑塊(1212)與所述第三連桿(1215)的一端相連，并與所述導軌(1211)相配合；

所述第一連桿(1213)的一端與所述動力機構(130)固定相連，另一端與所述第二連桿(1214)的一端可轉動相連；

所述第二連桿(1214)的另一端與所述第三連桿(1215)的一端可轉動相連；

所述第三連桿(1215)的另一端與所述載物機構(110)固定相連。

3.根據權利要求2所述的擺動裝置，其特征在于，所述擺動裝置還包括箱體(140)；所述動力機構(130)和所述曲柄滑塊機構(121)設置在所述箱體(140)內；所述導軌(1211)固定在所述箱體(140)內側；所述第三連桿(1215)與所述載物機構(110)相連的一端伸出所述箱體(140)。

4.根據權利要求3所述的擺動裝置，其特征在于，所述箱體(140)外設有耐腐蝕保護層。

5.根據權利要求2所述的擺動裝置，其特征在于，所述載物機構(110)包括載物籃(111)；所述載物籃(111)包括方形籃體(1111)、連接件(1112)和支撐件(1113)；

所述連接件(1112)連接所述方形籃體(1111)和所述第三連桿(1215)；

所述支撐件(1113)一端固定在所述方形籃體(1111)上，另一端固定在所述連接件(1112)上。

6.根據權利要求5所述的擺動裝置，其特征在于，所述方形籃體(1111)、連接件(1112)和支撐件(1113)形成三角形穩定結構。

7.根據權利要求5所述的擺動裝置，其特征在于，所述載物籃(111)外設有耐腐蝕保護層。

8.根據權利要求2所述的擺動裝置，其特征在于，所述第一連桿(1213)和所述第二連桿(1214)通過第一銷釘(1216)相連并可繞所述第一銷釘(1216)轉動，所述第二連桿(1214)和所述第三連桿(1215)通過第二銷釘(1217)相連并可繞所述第二銷釘(1217)轉動。

9.一種蝕刻機，包括機臺(200)和設置在機臺(200)上的反應槽(300)；其特征在于，還包括支架(400)和權利要求1-8任一項所述的擺動裝置(100)；所述支架(400)設置在所述機臺(200)上；所述擺動裝置(100)放置在所述支架(400)上，且所述載物機構(110)部分進入所述反應槽(300)內。

10.根據權利要求9所述的蝕刻機，其特征在于，所述支架(400)包括兩個支撐臂(410)和至少兩個支撐桿(420)；所述兩個支撐臂(410)平行相對設置在所述機臺(200)上；所述至少兩個支撐桿(420)平行間隔設置在所述支撐臂(410)上；所述擺動機構(120)和動力機構(130)放置在所述至少兩個支撐桿(420)上。