[實用新型]一種用于擴散爐的氣源柜機架有效
| 申請號： | 201520659089.2 | 申請日： | 2015-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN204939660U | 公開（公告）日： | 2016-01-06 |
| 發明（設計）人： | 常紅旺;周湘源 | 申請（專利權）人： | 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B31/06 | 分類號： | C30B31/06 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝陽;孫潔敏 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市龍崗區橫*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 擴散 柜機 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于擴散爐的氣源柜機架，其特征在于，包括：
恒溫槽區（1），其設于該氣源柜機架內部的一個封閉區域，且位于該氣源機架的上部；
氣路區（2），其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部與恒溫槽區（1）緊鄰，氣路區（2）通過封板與恒溫槽區（1）隔開；
電器元器件區（3），其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部，電器元器件區（3）通過封板與恒溫槽區（1）、氣路區（2）隔開；
電源區（4），其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部與電器元器件區（3）相鄰；
石英器件區（5），其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部，石英器件區（5）通過封板與氣路區（2）、電器元器件區（3）、電源區（4）隔開。
2.根據權利要求1所述的用于擴散爐的氣源柜機架，其特征在于，所述恒溫槽區（1）設有多個恒溫槽，每個恒溫槽是一個獨立的空間；恒溫槽區的背面爐尾設有抽風管（6）。
3.根據權利要求1所述的用于擴散爐的氣源柜機架，其特征在于，所述石英器件區（5）爐尾設有抽風管。
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