[實用新型]一種用于擴散爐的氣源柜機架

有效

• 申請號: 201520659089.2
• 申請日: 2015-08-28
• 公開（公告）號: CN204939660U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 常紅旺;周湘源
• 申請（專利權）人: 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

技術領域

本實用新型涉及擴散爐氣源柜設備技術領域，更具體地說是涉及一種用于擴散爐的氣源柜機架。

背景技術

擴散爐是集成電路生產線前工序的重要工藝設備之一，它的主要用途是對半導體進行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布，以便建立起不同電特性區域，雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進行摻雜，但是熱擴散仍是最主要、最普通的摻雜方法。現有技術中的擴散爐氣源柜設備目前主要存在以下不足和缺陷：一是恒溫槽里源瓶酸性物質和石英器件里的尾氣泄漏后容易腐蝕電器元器件，減少電器元器件的使用壽命；二是恒溫槽里源瓶的溫度容易受爐尾溫度和環境溫度的影響。從而影響工藝的穩定性。

實用新型內容

為解決上述現有技術中的問題，本實用新型提出一種用于擴散爐的氣源柜機架，將氣源柜機架進行分區設計可以使電器元器件免受腐蝕，增加電器元器件的使用壽命。

本實用新型的技術方案為：一種用于擴散爐的氣源柜機架，包括：

恒溫槽區，其設于該氣源柜機架內部的一個封閉區域，且位于該氣源機架的上部；

氣路區，其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部與恒溫槽區緊鄰，氣路區通過封板與恒溫槽區隔開；

電器元器件區，其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部，電器元器件區通過封板與恒溫槽區、氣路區隔開；

電源區，其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部與電器元器件區相鄰；

石英器件區，其設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部，石英器件區通過封板與氣路區、電器元器件區、電源區隔開。

所述恒溫槽區設有多個恒溫槽，每個恒溫槽是一個獨立的空間；恒溫槽區的背面爐尾設有抽風管。

所述石英器件區爐尾設有抽風管。

本實用新型的用于擴散爐的氣源柜機架將氣源柜機架進行分區設計，分區之間都是彼此隔開的，從而使得電器元器件區不會受到腐蝕，增加了電器元器件的使用壽命；在恒溫槽區的背面爐尾設有抽風管，可以使恒溫槽源瓶的溫度免受爐尾溫度和環境溫度的影響，增加工藝的穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型用于擴散爐的氣源柜機架從前面看的示意圖。

圖2為本實用新型用于擴散爐的氣源柜機架從后面看的示意圖。

具體實施方式

如圖1和圖2所示，一種用于擴散爐的氣源柜機架，包括恒溫槽區1、氣路區2、電器元器件區3、電源區4和石英器件區5。

恒溫槽區1設于該氣源柜機架內部的一個封閉區域，且位于該氣源機架的上部，恒溫槽區1設有多個恒溫槽，每個恒溫槽是一個獨立的空間；另外，恒溫槽區1的背面爐尾設有抽風管6，可以及時抽掉爐尾與恒溫槽區的熱量。

氣路區2設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部，氣路區2緊鄰恒溫槽區1設置，氣路區2通過封板與恒溫槽區1隔開。

電器元器件區3設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部，電器元器件區3通過封板與恒溫槽區1、氣路區2隔開；

電源區4設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源柜機架的下部與電器元器件區3相鄰；電源區4為獨立的箱子，防止觸電。

石英器件區5設于該氣源柜機架的內部，且位于該氣源機架的上部，石英器件區5通過隔板與氣路區2、電器元器件區3、電源區4隔開；石英器件區5爐尾設有抽風管，抽風管可以及時抽走爐尾的熱量。

本實用新型的用于擴散爐的氣源柜機架進行分區設計，使每個區域都是獨立的空間，可以保證電器元器件免受酸性物質的腐蝕，增加其使用壽命；恒溫槽源瓶的溫度免受爐尾溫度和環境溫度的影響，增加工藝的穩定性。

以上的具體實施例僅用以舉例說明本實用新型的構思，本領域的普通技術人員在本實用新型的構思下可以做出多種變形和變化，這些變形和變化均包括在本實用新型的保護范圍之內。