[實用新型]惰性氣體純化器有效
| 申請號： | 201520634101.4 | 申請日： | 2015-08-21 |
| 公開（公告）號： | CN204917973U | 公開（公告）日： | 2015-12-30 |
| 發明（設計）人： | 江曉松 | 申請（專利權）人： | 先普半導體技術(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C01B23/00 | 分類號： | C01B23/00;B01D53/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201100 上海市閔*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 惰性氣體 純化 | ||
【權利要求書】：
1.惰性氣體純化器，包括純化器本體、加熱裝置，純化器本體頂部設有氣體輸入管道，純化器本體底部設有氣體輸出管道，其特征在于，所述加熱裝置為陶瓷加熱圈，陶瓷加熱圈安裝在純化器本體側壁外緣，陶瓷加熱圈外部設置有一圈絕熱棉，絕熱棉外部設置有純化罐外殼。
2.根據權利要求1所述的惰性氣體純化器，其特征在于，所述絕熱棉和純化罐外殼之間設置有一圈真空間隙，真空間隙的單邊間距為32~48毫米。
3.根據權利要求1所述的惰性氣體純化器，其特征在于，所述絕熱棉外緣設有一層保溫材料，保溫材料為鋁箔。
4.根據權利要求1所述的惰性氣體純化器，其特征在于，還包括傳感器接管道，傳感器接管道一端伸入純化器本體內腔之中，傳感器接管道另一端外露在純化罐外殼外部。
5.根據權利要求4所述的惰性氣體純化器，其特征在于，所述純化器本體上至少有一個傳感器連接管道。
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