[實用新型]惰性氣體純化器

有效

• 申請號: 201520634101.4
• 申請日: 2015-08-21
• 公開（公告）號: CN204917973U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 江曉松
• 申請（專利權）人: 先普半導體技術(上海)有限公司
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00;B01D53/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種氣體提純裝置，具體說是一種惰性氣體純化器。

背景技術

在化學工業及電子工業的很多工藝中大量使用超高純度的惰性氣體。而工業制備出的惰性氣體中通常含有一些反應物、反應過程中的中間產物以及水、空氣中的氧氣等雜質因其化學性質而使所述氣體無法適用于高工藝性的要求。因此要對超高純度氣體中的各種雜質進行除雜純化。

目前工業上惰性氣體常用的純化方法主要有低溫冷凝吸附分離法、變壓吸附法、薄膜分離法、化學分離法等。一般冷凝吸附分離法和變壓吸附法都是采用惰性氣體純化吸附材料填入純化罐之中，通過特殊的溫度、壓力條件使原料惰性氣體材料中的雜質轉移到純化吸附材料之中。所以要求惰性氣體純化器腔內是高溫或者高壓的狀態，目前，常用的氣體純化器即氣體純化罐在內部會安裝加熱裝置，傳統的加熱裝置經常存在加熱不均勻的問題。另外多數氣體純化罐保溫性不好，造成純化罐外部溫度高，無保護措施容易使工作人員受到燙傷。

發明內容

針對上述情況，本實用新型提供一種惰性氣體純化器，采用陶瓷加熱圈內的較高絕緣耐火程度的陶瓷內穿上電阻絲，具有安全性高，加熱均勻，高溫穩定等特點，陶瓷層具有溫度不外泄，工作安全，可節省電能的優點。另外，絕熱棉進一步起到絕熱作用，絕熱棉和純化罐外殼之間的真空間隙保護工作人員的安全，防止高溫或者觸電事故。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

惰性氣體純化器，包括純化器本體、加熱裝置，純化器本體頂部設有氣體輸入管道，純化器本體底部設有氣體輸出管道，其特征在于，所述加熱裝置為陶瓷加熱圈，陶瓷加熱圈安裝在純化器本體側壁外緣，陶瓷加熱圈外部設置有一圈絕熱棉，絕熱棉外部設置有純化罐外殼。

所述絕熱棉和純化罐外殼之間設置有一圈真空間隙，真空間隙的單邊間距為32~48毫米。

所述絕熱棉外緣設有一層保溫材料，保溫材料為鋁箔。

所述絕熱棉的厚度為16~20毫米。

所述純化器本體的內徑為80~120毫米，純化器本體的外徑為110~130毫米，陶瓷加熱圈的內徑與純化器本體外徑匹配，陶瓷加熱圈的厚度為10~20毫米。

所述純化罐外殼由弧形鋼板拼接而成，拼接處通過螺栓連接。

還包括傳感器接管道，傳感器接管道一端伸入純化器本體內腔之中，傳感器接管道另一端外露在純化罐外殼外部。

所述純化器本體上至少有一個傳感器連接管道。

本實用新型的優點是：采用陶瓷加熱圈內的較高絕緣耐火程度的陶瓷內穿上電阻絲，具有安全性高，加熱均勻，高溫穩定等特點，陶瓷層具有溫度不外泄，工作安全，可節省電能的優點。另外，絕熱棉進一步起到絕熱作用，絕熱棉和純化罐外殼之間的真空間隙保護工作人員的安全，防止高溫或者觸電事故。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視圖。

圖2為圖1中A-A面的剖視圖。

在圖中：1-純化器本體，2-氣體輸入管道，3-氣體輸出管道，4-陶瓷加熱圈，5-絕熱棉，6-純化罐外殼，7-真空間隙，8-鋁箔，9-傳感器接管道。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

參見圖1~圖2，惰性氣體純化器，包括純化器本體、加熱裝置，純化器本體頂部設有氣體輸入管道，純化器本體底部設有氣體輸出管道，其特征在于，所述加熱裝置為陶瓷加熱圈，陶瓷加熱圈安裝在純化器本體側壁外緣，陶瓷加熱圈外部設置有一圈絕熱棉，絕熱棉外部設置有純化罐外殼。

所述絕熱棉和純化罐外殼之間設置有一圈真空間隙，真空間隙的單邊間距為32~48毫米。

所述絕熱棉外緣設有一層保溫材料，保溫材料為鋁箔。

所述絕熱棉的厚度為16~20毫米。

所述純化器本體的內徑為80~120毫米，純化器本體的外徑為110~130毫米，陶瓷加熱圈的內徑與純化器本體外徑匹配，陶瓷加熱圈的厚度為10~20毫米。

所述純化罐外殼由弧形鋼板拼接而成，拼接處通過螺栓連接。

還包括傳感器接管道，傳感器接管道一端伸入純化器本體內腔之中，傳感器接管道另一端外露在純化罐外殼外部。

所述純化器本體上至少有一個傳感器連接管道。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優點。本行業的技術人員應該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型的范圍內。本實用新型要求的保護范圍由所附的權利要求書及其等同物界定。