[實用新型]一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝

有效

• 申請號: 201520609232.7
• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN204885118U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 趙文龍;李宏儒;胡曉亮;高燁;張磊;史舸;張明亮;郭光燦
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

技術領域

本實用新型涉及到單晶硅片的生產領域，具體的說是一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝。

背景技術

在硅片生產過程中，常需將兩硅片片盒盒口對齊，完成將一片盒中的硅片倒入另一片盒中的工作，有時需片盒間反向倒片（一片盒H面與另一片盒U面相對齊倒片）以使硅片反向。而手動倒片時硅片滑動速度難以控制、片盒口難以對齊造成硅片崩邊、表面劃傷、倒錯位等現象，特別是在片盒反向倒片時更易發生此類現象。傳統的手動操作倒片工具在使用過程中存在片盒放置困難、難以定位的缺點，使片盒盒口難以對齊，放置過程中硅片易于震動造成損傷，在倒片將結束時沒有限速裝置使速度不易控，易造成硅片移動速度快而撞擊片盒底部造成硅片損傷，且傳統倒片工具不具有片盒U面朝下反向倒片的功能。

實用新型內容

為解決現有的倒片工具在倒片時兩個片盒的盒口難以準確定位的問題，本實用新型提供了一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，該工裝能夠輕易的完成從一片盒到另一片盒的倒片工作，完成片盒間的反向倒片工作，且通過設置阻尼器，從而在倒片將結束時限制倒片速度以避免造成硅片損傷。

本實用新型為解決上述技術問題采用的技術方案為：一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，包括一倒片工作臺、分別設置在倒片工作臺上方和下方的硅片推桿和滑軌，其中，滑軌上設置滑動設置有橫梁，硅片推桿通過一連接件與橫梁連接，從而使硅片推桿通過滑軌實現在倒片工作臺上的往復運動；所述倒片工作臺上表面的中部垂直于滑軌平行設置有兩條凸起筋，從而將倒片工作臺分成左右兩個放置片盒的臺面，且兩條凸起筋上分布有若干卡緊片盒的定位槽，從而將放置在左右兩臺面的片盒對齊并卡緊。

所述滑軌遠離連接件的一端設置有阻尼器，以對橫梁在滑軌上的滑動進行減速。

所述橫梁內部設有供滑軌穿過的滑軌通道，該滑軌通道由靠近連接件一側的圓柱通道和遠離連接件一側的圓臺通道連接而成，且圓臺通道的內徑從靠近連接件的一側向另一側逐漸增大，以使圓臺通道的內壁與阻尼器配合實現減速。

所述阻尼器具有圓臺狀外形，且其直徑從靠近連接件的一側向另一側逐漸增大。

本實用新型中，連接件為U形，以使其隨橫梁在滑軌上運動時不會撞擊倒片工作臺。

本實用新型中，通過兩條凸起筋及其上的定位槽，分別對兩個硅片片盒進行前后定位，不論是硅片片盒的H面還是U面的缺口，均能卡在定位槽內，且通過調整兩條凸起筋的間距以及其上定位槽的分布，使兩個硅片片盒卡在定位槽內時，兩個片盒的盒口完全對應；通過在凸起筋上設置不同的定位槽，從而對應不同尺寸的片盒。

有益效果：本實用新型通過在倒片工作臺上設置兩條帶有定位槽的凸起筋完成對兩個片盒的定位和卡緊，而且無論片盒H面、U面向下均可實現定位，從而完成片盒的簡易定位，正反定位，使盒口對齊并通過硅片推桿完成倒片；通過在滑軌末端安裝阻尼器，從而完全對硅片推桿在倒片末端時的減速，防止了硅片撞擊片盒而產生損傷。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1的仰視圖；

圖3為倒片工作臺的俯視圖；

圖4為硅片推桿與橫梁的連接結構圖；

圖5為圖4在A-A處的剖視圖；

附圖標記：1、倒片工作臺，2、凸起筋，3、定位槽，4、阻尼器，5、硅片推桿，6、圓臺通道，7、滑軌，8、橫梁，9、連接件，10、圓柱通道。

具體實施方式

如圖所示，一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，包括一倒片工作臺1、分別設置在倒片工作臺1上方和下方的硅片推桿5和滑軌7，其中，滑軌7上設置滑動設置有橫梁8，硅片推桿5通過一連接件9與橫梁8連接，從而使硅片推桿5通過滑軌7實現在倒片工作臺1上的往復運動，并且在往復運動過程中，推動硅片從倒片工作臺1的一端運動到另一端，同時，連接件9上具有一U型結構，從而防止其在隨滑軌7運動的過程中撞擊倒片工作臺1；所述倒片工作臺1上表面的中部垂直于滑軌7平行設置有兩條凸起筋2，從而將倒片工作臺1分成左右兩個放置片盒的臺面，且兩條凸起筋2上分布有若干卡緊片盒的定位槽3，從而將放置在左右兩臺面的片盒對齊并卡緊。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的改進：

如，為了防止硅片推桿5在推動硅片在左右兩個片盒內滑動時由于速度過快導致硅片撞擊片盒所引起的硅片損壞，本實用新型可在滑軌7遠離連接件9的一端設置阻尼器4，以對橫梁8在滑軌7上的滑動進行減速，從而實現了硅片推桿5在推片過程末的減速；