[實用新型]一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝

有效

• 申請號: 201520609232.7
• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN204885118U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 趙文龍;李宏儒;胡曉亮;高燁;張磊;史舸;張明亮;郭光燦
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

1.一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，其特征在于：包括一倒片工作臺（1）、分別設置在倒片工作臺（1）上方和下方的硅片推桿（5）和滑軌（7），其中，滑軌（7）上設置滑動設置有橫梁（8），硅片推桿（5）通過一連接件（9）與橫梁（8）連接，從而使硅片推桿（5）通過滑軌（7）實現在倒片工作臺（1）上的往復運動；所述倒片工作臺（1）上表面的中部垂直于滑軌（7）平行設置有兩條凸起筋（2），從而將倒片工作臺（1）分成左右兩個放置片盒的臺面，且兩條凸起筋（2）上分布有若干卡緊片盒的定位槽（3），從而將放置在左右兩臺面的片盒對齊并卡緊。

2.根據權利要求1所述的一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，其特征在于：所述滑軌（7）遠離連接件（9）的一端設置有阻尼器（4），以對橫梁（8）在滑軌（7）上的滑動進行減速。

3.根據權利要求2所述的一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，其特征在于：所述橫梁（8）內部設有供滑軌（7）穿過的滑軌通道，該滑軌通道由靠近連接件（9）一側的圓柱通道（10）和遠離連接件（9）一側的圓臺通道（6）連接而成，且圓臺通道（6）的內徑從靠近連接件（9）的一側向另一側逐漸增大，以使圓臺通道（6）的內壁與阻尼器（4）配合實現減速。

4.根據權利要求2或3所述的一種用于將硅片在片盒間正向或反向倒片的工裝，其特征在于：所述阻尼器（4）具有圓臺狀外形，且其直徑從靠近連接件（9）的一側向另一側逐漸增大。