[實用新型]一種石墨舟定位裝置

有效

• 申請號: 201520602414.1
• 申請日: 2015-08-12
• 公開（公告）號: CN205011836U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 王俊朝;劉兵吉;李軍陽
• 申請（專利權）人: 深圳豐盛裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 深圳市君盈知識產權事務所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池自動化設備的固定機構的技術領域，更具體地說，是涉及一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片設備中的石墨舟定位裝置。

背景技術

PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)-等離子體增強化學氣相沉積法,是利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發熱體)使硅片升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經一秕化學和等離子體反應，在硅片上形成固態薄膜。

石墨舟是石墨模具，石墨模具本身是一種載體，可以把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型。石墨模具是選用人造石墨經機械加工而成的。所以石墨模具有時成為石墨舟，也有稱為石墨船的。

石墨舟作為硅片載體電極，硅片必須放置在石墨舟上才能進行鍍膜工藝。在硅太陽能電池制造過程中，在進行硅片表面鍍膜時，首先將未鍍膜的硅片插入到石墨舟中，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備(簡稱PECVD設備)腔體中，采用合適的PECVD工藝對硅片進行鍍膜。鍍膜結束后，從真空鍍膜設備腔體中取出石墨舟然后再將鍍膜的硅片從石墨舟取下來。

現有PECVD真空鍍膜工序之前或之后都會用到石墨舟。在石墨舟定位后對其上的硅片進行裝卸?，F有的石墨舟傳輸定位主要有以下特點：石墨舟的輸送多采用伺服馬達，成本較高；石墨舟的定位采用較多的傳感器，成本較高；石墨舟夾緊定位時采用氣缸力直接作用在舟片上，容易損傷舟片。

基于以上問題，有必要設計一種新的石墨舟定位裝置。

實用新型內容

本實用新型提供一種在石墨舟自動裝卸片時將石墨舟精確定位和固定的定位裝置。

本實用新型提供一種石墨舟定位裝置，該定位裝置包括：至少一承托機構，在豎直方向固定石墨舟，該承托機構包括：固定石墨舟的托板、承托氣缸、至少一承托導桿，所述承托導桿一端與承托氣缸連接，所述承托導桿另一端與所述托板連接；至少一X夾緊定位機構，與承托機構并列設置，X夾緊定位機構包括：與承托氣缸平行設置的X定位氣缸、至少一定位導桿，所述定位導桿一端與X定位氣缸連接，所述定位導桿另一端與所述托板連接、套設在定位導桿上的固定環；至少一Y夾緊定位機構，包括：Y定位導軌、至少一Y定位夾緊氣缸、至少一Y定位夾緊桿，與對應的連接Y定位夾緊氣缸連接、限位裝置，連接在Y定位導軌上。

其中，所述石墨舟定位裝置還包括固定板，所述承托氣缸、X定位氣缸、Y定位夾緊氣缸均固定在該固定板。

其中，所述承托機構還包括將承托導桿與所述固定板配合的承托軸承；所述X夾緊定位機構也包括將定位導桿與所述固定板配合的X直線軸承，所述固定環套設在定位導桿與X直線軸承的連接處。

其中，所述石墨舟定位裝置還包括固定在托板上的第一框形板和第二框形板，所述承托導桿的一端部固定在第一框形板上，所述定位導桿的一端部固定在第二框形板上。

其中，所述承托機構包括連接在定位導桿一端部的承托連接件，所述承托連接件與所述X連接件平行且相鄰設置。

其中，所述X夾緊定位機構還包括固定在所述托板上的定位夾緊板。

其中，所述X夾緊定位機構還包括固定在所述定位夾緊板上的至少一電極感應傳感器。

其中，所述X夾緊定位機構還包括與X定位氣缸連接的X壓縮彈簧；所述Y夾緊定位機構，也包括與Y定位夾緊氣缸的Y壓縮彈簧。

其中，所述X夾緊定位機構還包括連接在X壓縮彈簧和X定位氣缸之間的X連接件；所述Y夾緊定位機構還包括連接在Y壓縮彈簧和Y定位夾緊氣缸之間的Y連接件。

其中，所述石墨舟定位裝置還包括還包括檢測部分，該檢測部分包括多個傳感器。

本實用新型首先通過承托機構將石墨舟在豎直方向(Z方向)固定，再通過X夾緊定位機構調節石墨舟在X方向的精度，Y夾緊定位機構調節石墨舟在Y方向的精度，承托結構、X夾緊定位機構、Y夾緊定位機構均通過氣缸來固定調節，通過本定位裝置在自動化設備中實現石墨舟的自動裝卸片時，將石墨舟精確定位和固定。

附圖說明

圖1為本石墨舟定位裝置的立體結構示意圖；

圖2為圖1所示石墨舟定位裝置的主視圖；

圖3為圖1所示石墨舟定位裝置的俯視圖；

圖4為圖1所示石墨舟定位裝置的右視圖。

圖中各序號所對應的標注名稱如下：