[實用新型]一種石墨舟定位裝置有效
| 申請號: | 201520602414.1 | 申請日: | 2015-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN205011836U | 公開(公告)日: | 2016-02-03 |
| 發明(設計)人: | 王俊朝;劉兵吉;李軍陽 | 申請(專利權)人: | 深圳豐盛裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458 |
| 代理公司: | 深圳市君盈知識產權事務所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陳琳 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市南山區高新*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 定位 裝置 | ||
1.一種石墨舟定位裝置,其特征在于:該定位裝置包括:
至少一承托機構,在豎直方向固定石墨舟,該承托機構包括:固定石墨舟的托板(3)、承托氣缸(4)、至少一承托導桿(5),所述承托導桿(5)一端與承托氣缸(4)連接,所述承托導桿(5)另一端與所述托板(3)連接;
至少一X夾緊定位機構,與承托機構并列設置,X夾緊定位機構包括:與承托氣缸(4)平行設置的X定位氣缸(8)、至少一定位導桿(9),所述定位導桿(9)一端與X定位氣缸(8)連接,所述定位導桿(9)另一端與所述托板(3)連接、套設在定位導桿(9)上的固定環(10);
至少一Y夾緊定位機構,包括:Y定位導軌(15)、至少一Y定位夾緊氣缸(16)、至少一Y定位夾緊桿(17),與對應的連接Y定位夾緊氣缸(16)連接、限位裝置(18),連接在Y定位導軌(15)上。
2.根據權利要求1所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述石墨舟定位裝置還包括固定板(2),所述承托氣缸(4)、X定位氣缸(8)、Y定位夾緊氣缸(16)均固定在該固定板(2)。
3.根據權利要求2所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述承托機構還包括將承托導桿(5)與所述固定板(2)配合的承托軸承(6);所述X夾緊定位機構也包括將定位導桿(9)與所述固定板(2)配合的X直線軸承(14),所述固定環(10)套設在定位導桿(9)與X直線軸承(14)的連接處。
4.根據權利要求1所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述石墨舟定位裝置還包括固定在托板(3)上的第一框形板(23)和第二框形板(22),所述承托導桿(5)的一端部固定在第一框形板(23)上,所述定位導桿(9)的一端部固定在第二框形板(22)上。
5.根據權利要求1所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述X夾緊定位機構還包括固定在所述托板(3)上的定位夾緊板(13)。
6.根據權利要求5所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述X夾緊定位機構還包括固定在所述定位夾緊板(13)上的至少一電極感應傳感器(12)。
7.根據權利要求1所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述X夾緊定位機構還包括與X定位氣缸(8)連接的X壓縮彈簧(11);所述Y夾緊定位機構,也包括與Y定位夾緊氣缸(16)的Y壓縮彈簧(19)。
8.根據權利要求7所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述X夾緊定位機構還包括連接在X壓縮彈簧(11)和X定位氣缸(8)之間的X連接件(24);所述Y夾緊定位機構還包括連接在Y壓縮彈簧(19)和Y定位夾緊氣缸(16)之間的Y連接件(20)。
9.根據權利要求8所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述承托機構包括連接在定位導桿(9)一端部的承托連接件(7),所述承托連接件(7)與所述X連接件(24)平行且相鄰設置。
10.根據權利要求1所述的石墨舟定位裝置,其特征在于:所述石墨舟定位裝置還包括還包括檢測部分,該檢測部分包括多個傳感器。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





