[實用新型]一種芯片顯影定影裝置

有效

• 申請號: 201520597973.8
• 申請日: 2015-08-10
• 公開（公告）號: CN204989752U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 滕勇;駱軍;彭應龍
• 申請（專利權）人: 樂山無線電股份有限公司
• 主分類號: G03F7/26
• 分類號: G03F7/26;G03F7/40
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 熊曉果;林輝輪

技術領域

本實用新型涉及一種芯片制造設備，特別涉及一種芯片顯影定影裝置。

背景技術

目前在芯片生產過程中，芯片顯影、定影全靠手工操作，而在目前市場競爭全球化，開發周期不斷縮短，半導體元器件需求量急速擴張的情況下，手工操作不僅操作時間長易導致疲勞、操作一致性差，使得芯片生產的速率低下，而且手工操作過程中容易出現芯片漏顯，使得次品率較高。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于針對現有技術中芯片顯影、定影采用手工操作時間長易導致疲勞、手動操作多導致操作一致性差，漏顯等問題，提供一種采用機器半自動化的生產替代原有手工操作，使芯片生產速率明顯提高次品率明顯降低的芯片顯影、定影裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種芯片顯影定影裝置，包括：

機架，所述機架向上伸出一支撐軸；

旋轉單元，設置于所述支撐軸頂端并以所述支撐軸為圓心進行旋轉；

N個升降單元，一端與所述旋轉單元連接，另一端連接一芯片承載欄；

N個容器，設置于所述機架上，所述容器開口向上且內部盛有顯影液或定影液；

控制單元，用于控制所述旋轉單元、升降單元的運動；承放于所述芯片承載欄內的芯片通過所述升降單元下降進入所述容器進行顯影或定影，完成后上升抬離所述容器；

其中，N為1以上自然數。

作為本實用新型的優選方案，所述旋轉單元包括圓盤及設置所述圓盤上的驅動電機，用于驅動所述圓盤進行轉動。

作為本實用新型的優選方案，所述圓盤上設置有接近開關，用于在芯片顯影定影裝置復位，在圓盤轉到原點時反饋原點信號，使驅動電機停止轉動，圓盤停在原點，所述原點為芯片承載欄初始承掛位置。

作為本實用新型的優選方案，所述接近開關為光電接近開關。

作為本實用新型的優選方案，所述升降單元包括氣缸和一端連接所述氣缸的攪拌電機，所述攪拌電機另一端連接所述芯片承載欄，所述氣缸用于帶動所述攪拌電機及芯片承載欄進入或離開所述容器。

作為本實用新型的優選方案，所述氣缸為內置磁環型氣缸。

作為本實用新型的優選方案，所述內置磁環型氣缸上下兩端設置有感應器，用于感應所述氣缸的運動位置，并將感應的位置信息傳輸到所述控制單元。

作為本實用新型的優選方案，所述內置磁環型氣缸連接有一電磁閥，所述電磁閥連接一繼電器，所述繼電器還連接所述攪拌電機；

所述繼電器接收所述控制單元信號控制電磁閥的通斷電以控制所述氣缸的運動，還控制所述攪拌電機的開啟與關閉；

所述芯片承載欄在氣缸帶動下進入所述容器后，氣缸停止運動，所述繼電器開啟攪拌電機。

作為本實用新型的優選方案，所述控制單元包括可編程邏輯控制器和觸摸屏。

綜上所述，由于采用了上述技術方案，本實用新型的有益效果是：通過本發明提供地一種芯片顯影定影裝置，以半自動機械式生產替代原有手工操作，解決了人工操作時間長易導致疲勞、操作一致性差的問題，使得芯片生產的速率明顯提高。同時也解決了手工操作過程中容易出現芯片漏顯的問題，使次品率明顯降低。

附圖說明

圖1為本發明一種芯片顯影定影裝置結構示意圖。

圖2為本發明實施例1和2中一種芯片顯影定影裝置俯視示意圖。

圖中標記：1-機架，11-支撐軸，21-第一顯影定影缸，22-第二顯影定影缸，23-第三顯影定影缸，24-第四顯影定影缸，25-第五顯影定影缸，3-圓盤，4-旋轉伺服電機，5-光電接近開關，61-第一內置磁環型氣缸，62-第二內置磁環型氣缸，63-第三內置磁環型氣缸，64-第四內置磁環型氣缸，65-第五內置磁環型氣缸，66-第六內置磁環型氣缸，7-無刷直流電機，8-芯片承載欄，9-磁性光電傳感器。

具體實施方式

下面結合附圖，對本實用新型作詳細的說明。

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

實施例1

參看圖1、圖2，

一種芯片顯影定影裝置，包括：

機架1，所述機架1向上伸出一支撐軸11；