[實(shí)用新型]一種芯片顯影定影裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520597973.8
• 申請(qǐng)日: 2015-08-10
• 公開（公告）號(hào): CN204989752U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 滕勇;駱軍;彭應(yīng)龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 樂山無線電股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/26
• 分類號(hào): G03F7/26;G03F7/40
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 熊曉果;林輝輪

1.一種芯片顯影定影裝置，包括：

機(jī)架（1），所述機(jī)架向上伸出一支撐軸（11）；

旋轉(zhuǎn)單元，設(shè)置于所述支撐軸（11）頂端并以所述支撐軸（11）為圓心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；

N個(gè)升降單元，一端與所述旋轉(zhuǎn)單元連接，另一端連接一芯片承載欄（8）；

N個(gè)容器，設(shè)置于所述機(jī)架（1）上，所述容器開口向上且內(nèi)部盛有顯影液或定影液；

控制單元，用于控制所述旋轉(zhuǎn)單元、升降單元的運(yùn)動(dòng)；承放于所述芯片承載欄（8）內(nèi)的芯片通過所述升降單元下降進(jìn)入所述容器進(jìn)行顯影或定影，完成后上升抬離所述容器；

其中，N為1以上自然數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)單元包括圓盤（3）及設(shè)置所述圓盤上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)用于驅(qū)動(dòng)所述圓盤（3）進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述圓盤（3）上設(shè)置有接近開關(guān)，用于在芯片顯影定影裝置復(fù)位，在圓盤（3）轉(zhuǎn)到原點(diǎn)時(shí)反饋原點(diǎn)信號(hào)，使驅(qū)動(dòng)電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，圓盤（3）停在原點(diǎn)，所述原點(diǎn)為芯片承載欄（8）初始承掛位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述接近開關(guān)為光電接近開關(guān)（5）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述升降單元包括氣缸和一端連接所述氣缸的攪拌電機(jī)，所述攪拌電機(jī)另一端連接所述芯片承載欄（8），所述氣缸用于帶動(dòng)所述攪拌電機(jī)及芯片承載欄（8）進(jìn)入或離開所述容器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述氣缸為內(nèi)置磁環(huán)型氣缸（6）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸（6）上下兩端設(shè)置有感應(yīng)器，用于感應(yīng)所述氣缸的運(yùn)動(dòng)位置，并將感應(yīng)的位置信息傳輸?shù)剿隹刂茊卧?/p>

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述內(nèi)置磁環(huán)型氣缸（6）連接有一電磁閥，所述電磁閥連接一繼電器，所述繼電器還連接所述攪拌電機(jī)；

所述繼電器接收所述控制單元信號(hào)控制電磁閥的通斷電以控制所述氣缸的運(yùn)動(dòng)，還控制所述攪拌電機(jī)的開啟與關(guān)閉；

所述芯片承載欄在氣缸帶動(dòng)下進(jìn)入所述容器后，氣缸停止運(yùn)動(dòng)，所述繼電器開啟攪拌電機(jī)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1和8任一項(xiàng)所述的一種芯片顯影定影裝置，其特征在于，所述控制單元包括可編程邏輯控制器和觸摸屏。