[實(shí)用新型]太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520584751.2
• 申請(qǐng)日: 2015-08-05
• 公開（公告）號(hào): CN204959086U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳桂寶;唐磊;何晨旭;朱姚培
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇榮馬新能源有限公司
• 主分類號(hào): C30B31/16
• 分類號(hào): C30B31/16
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散源瓶，尤其涉及一種太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶。

背景技術(shù)

晶體硅電池技術(shù)已成功應(yīng)用與商業(yè)化生產(chǎn)，極大推動(dòng)了人類享受清潔能源的進(jìn)程。晶體硅電池的PN結(jié)為其工作的核心，當(dāng)光照射在該P(yáng)N結(jié)上時(shí)，會(huì)發(fā)生所謂光生伏打效應(yīng)，產(chǎn)生光生電動(dòng)勢(shì)及光生電流供給與負(fù)載。發(fā)射電極的設(shè)計(jì)對(duì)于提高晶體硅電池的效率具有重要意義，諸如采用激光輔助、磷墨印刷等形成選擇性發(fā)射性電極是一種有效設(shè)計(jì)。

目前行業(yè)內(nèi)普遍采用的是氣體攜帶液態(tài)磷源擴(kuò)散的方法。即將氣體通入裝有液體的石英源瓶，濕潤(rùn)后攜帶磷源蒸氣通入擴(kuò)散爐中。

成熟的管式擴(kuò)散爐，提供的擴(kuò)散方案是氣體攜帶源氣，源氣在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，繼而形成晶體硅電池的核心PN結(jié)。如在P型硅片上進(jìn)行磷擴(kuò)散，一般采用的是氮?dú)鈹y帶三氯氧磷帶入管式爐管，在高溫下三氯氧磷與氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成磷原子，該磷原子在高溫下先后經(jīng)歷了替代擴(kuò)散、間隙擴(kuò)散等在硅片表面形成了具有一定梯度分布的N型層，繼而形成了PN結(jié)。液態(tài)的三氯氧磷一般放置于石英材質(zhì)的源瓶中，其進(jìn)氣管為石英材質(zhì)的中空管。但是現(xiàn)有的擴(kuò)散源瓶具有一些缺陷，比如進(jìn)氣管太短，導(dǎo)致每次使用完瓶底都會(huì)有很多剩余的三氯氧磷殘留在瓶子里面不能充分利用，溶液在擴(kuò)散源瓶?jī)?nèi)不夠均勻。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型發(fā)明的目的是提供一種太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶，該太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶解決了源瓶本體內(nèi)的源利用不充分和溶液在擴(kuò)散源瓶?jī)?nèi)不夠均勻的問題。

為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型的太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶包括恒溫槽、襯套、源瓶本體，所述恒溫槽內(nèi)側(cè)表面設(shè)有襯套，源瓶本體設(shè)置在恒溫槽內(nèi)，所述源瓶本體上方設(shè)有進(jìn)氣口、出氣口，進(jìn)氣口通過進(jìn)氣管與源瓶本體連接，所述進(jìn)氣管伸入源瓶本體底部，進(jìn)氣管底端連接開有孔洞的環(huán)形擴(kuò)散管，所述出氣口通過出氣管與源瓶本體連接。

所述襯套為不銹鋼襯套。

所述源瓶本體上設(shè)有刻度。

所述源瓶本體為圓柱體。

所述環(huán)形擴(kuò)散管直徑為源瓶本體截面直徑的2/3。

采用這種太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、由于源瓶本體設(shè)置在恒溫槽內(nèi)，這樣可以保證源瓶本體在一個(gè)固定的溫度，當(dāng)溫度固定時(shí)，源瓶本體內(nèi)的蒸汽壓就固定，這樣當(dāng)?shù)獨(dú)馔ㄟ^源瓶本體時(shí)，所帶出的磷源量就會(huì)基本固定；

2、由于進(jìn)氣口通過進(jìn)氣管與源瓶本體連接，所述進(jìn)氣管伸入源瓶本體底部，這樣可以增加源的利用率；

3、由于進(jìn)氣管底端連接開有孔洞的環(huán)形擴(kuò)散管，這樣可以進(jìn)一步提高源的利用率，使溶液在源瓶本體內(nèi)更加均勻。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

圖1是本實(shí)用新型太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中有：1.恒溫槽；2.襯套；3.源瓶本體；4.進(jìn)氣口；5.進(jìn)氣管；6.環(huán)形擴(kuò)散管；7.出氣管；8.出氣口。

具體實(shí)施方式

圖1所示太陽電池用三氯氧磷擴(kuò)散源瓶，包括恒溫槽1、襯套2、源瓶本體3，所述恒溫槽1內(nèi)側(cè)表面設(shè)有襯套2，源瓶本體3設(shè)置在恒溫槽1內(nèi)，所述源瓶本體3上方設(shè)有進(jìn)氣口4、出氣口8，進(jìn)氣口4通過進(jìn)氣管5與源瓶本體3連接，所述進(jìn)氣管5伸入源瓶本體3底部，進(jìn)氣管5底端連接開有孔洞的環(huán)形擴(kuò)散管6，所述出氣口8通過出氣管7與源瓶本體3連接。

所述襯套2為不銹鋼襯套。

所述源瓶本體3上設(shè)有刻度。

所述源瓶本體3為圓柱體。

所述環(huán)形擴(kuò)散管6直徑為源瓶本體3截面直徑的2/3。

氮?dú)庠谶M(jìn)氣口4處進(jìn)入，通過進(jìn)氣管5到達(dá)環(huán)形擴(kuò)散管6內(nèi)，然后通過環(huán)形擴(kuò)散管6上的孔洞擴(kuò)散到溶液中去，然后氮?dú)鈹y帶三氯氧磷通過出氣管7從出氣口8排出。

由于源瓶本體3設(shè)置在恒溫槽1內(nèi)，這樣可以保證源瓶本體3在一個(gè)固定的溫度，當(dāng)溫度固定時(shí)，源瓶本體3內(nèi)的蒸汽壓就固定，這樣當(dāng)?shù)獨(dú)馔ㄟ^源瓶本體3時(shí)，所帶出的磷源量就會(huì)基本固定；由于進(jìn)氣口4通過進(jìn)氣管5與源瓶本體3連接，所述進(jìn)氣管5伸入源瓶本體3底部，這樣可以增加源的利用率；由于進(jìn)氣管5底端連接開有孔洞的環(huán)形擴(kuò)散管6，這樣可以進(jìn)一步提高源的利用率，使溶液在源瓶本體3內(nèi)更加均勻。

本申請(qǐng)中沒有詳細(xì)說明的技術(shù)特征為現(xiàn)有技術(shù)。上述實(shí)施例僅例示性說明本申請(qǐng)的原理及其功效，而非用于限制本申請(qǐng)。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本申請(qǐng)的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本申請(qǐng)所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本申請(qǐng)的權(quán)利要求所涵蓋。