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[實用新型]太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶有效

專利信息
申請號: 201520584751.2 申請日: 2015-08-05
公開(公告)號: CN204959086U 公開(公告)日: 2016-01-13
發明(設計)人: 陳桂寶;唐磊;何晨旭;朱姚培 申請(專利權)人: 江蘇榮馬新能源有限公司
主分類號: C30B31/16 分類號: C30B31/16
代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 代理人: 張惠忠
地址: 223700 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 太陽電池 用三氯氧磷 擴散
【權利要求書】:

1.一種太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:包括恒溫槽、襯套、源瓶本體,所述恒溫槽內側表面設有襯套,源瓶本體設置在恒溫槽內,所述源瓶本體上方設有進氣口、出氣口,進氣口通過進氣管與源瓶本體連接,所述進氣管伸入源瓶本體底部,進氣管底端連接開有孔洞的環形擴散管,所述出氣口通過出氣管與源瓶本體連接。

2.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述襯套為不銹鋼襯套。

3.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述源瓶本體上設有刻度。

4.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述源瓶本體為圓柱體。

5.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述環形擴散管直徑為源瓶本體截面直徑的2/3。

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