[實用新型]太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶有效
| 申請號: | 201520584751.2 | 申請日: | 2015-08-05 |
| 公開(公告)號: | CN204959086U | 公開(公告)日: | 2016-01-13 |
| 發明(設計)人: | 陳桂寶;唐磊;何晨旭;朱姚培 | 申請(專利權)人: | 江蘇榮馬新能源有限公司 |
| 主分類號: | C30B31/16 | 分類號: | C30B31/16 |
| 代理公司: | 南京經緯專利商標代理有限公司 32200 | 代理人: | 張惠忠 |
| 地址: | 223700 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽電池 用三氯氧磷 擴散 | ||
1.一種太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:包括恒溫槽、襯套、源瓶本體,所述恒溫槽內側表面設有襯套,源瓶本體設置在恒溫槽內,所述源瓶本體上方設有進氣口、出氣口,進氣口通過進氣管與源瓶本體連接,所述進氣管伸入源瓶本體底部,進氣管底端連接開有孔洞的環形擴散管,所述出氣口通過出氣管與源瓶本體連接。
2.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述襯套為不銹鋼襯套。
3.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述源瓶本體上設有刻度。
4.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述源瓶本體為圓柱體。
5.按照權利要求1所述的太陽電池用三氯氧磷擴散源瓶,其特征在于:所述環形擴散管直徑為源瓶本體截面直徑的2/3。
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