[實(shí)用新型]環(huán)保型硅片清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520583750.6 | 申請(qǐng)日： | 2015-08-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN204953432U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-01-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 何晨旭;孔祥照;朱潔;朱姚培 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇榮馬新能源有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/10 | 分類號(hào)： | B08B3/10;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200 | 代理人： | 張惠忠 |
| 地址： | 223700 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 環(huán)保 硅片 清洗 裝置 | ||
1.一種環(huán)保型硅片清洗裝置，其特征在于：包括支架、清洗槽、表面開(kāi)有孔洞的轉(zhuǎn)筒，清洗槽設(shè)置在支架上，清洗槽內(nèi)設(shè)有轉(zhuǎn)筒，清洗槽下方設(shè)有電機(jī)，電機(jī)輸出端連接轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸延伸至清洗槽內(nèi)，轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)筒連接，所述轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁上設(shè)有若干個(gè)硅片存放裝置，所述清洗槽上端設(shè)有進(jìn)水管，清洗槽內(nèi)設(shè)有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發(fā)生器，清洗槽外側(cè)設(shè)有控制器，溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接，所述清洗槽底部連接出水管，出水管下端連接凈化裝置，凈化裝置下端連接排水管。
2.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置，其特征在于：所述加熱裝置為加熱管。
3.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置，其特征在于：所述電機(jī)為正反轉(zhuǎn)電機(jī)。
4.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置，其特征在于：所述硅片存放裝置與轉(zhuǎn)筒內(nèi)壁卡槽連接。
5.按照權(quán)利要求1所述的環(huán)保型硅片清洗裝置，其特征在于：所述凈化裝置由上至下依次包括過(guò)濾層、分解層、殺菌層。
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