[實用新型]一種擴散硅片周轉盒

有效

• 申請號: 201520581490.9
• 申請日: 2015-08-05
• 公開（公告）號: CN204966463U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 何晨旭;孔祥照;朱潔;朱姚培
• 申請（專利權）人: 江蘇榮馬新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術領域

本實用新型屬于硅片轉運花籃盒領域，具體涉及一種擴散硅片周轉盒。

背景技術

傳統的擴散硅片周轉盒采用尼龍或者PVC材料粘合而成，而且均為全封閉的結構，重量大，不利于灰塵、擴散硅片的碎片以及酸洗或堿洗溶液的排除，另外此種結構的周轉盒破損后很難再修復，材料浪費較大，使用成本也比較高。

本實用新型的目的在于提供一種擴散硅片周轉盒，以解決現有技術中擴散硅片周轉盒不利于清理和維護的問題。

發明內容

本實用新型采用的技術方案是：

一種擴散硅片周轉盒，包括兩個縱向側板、兩個橫向側板、底板和若干連接柱，在所述兩個縱向側板的底部均設置有條形的封閉槽A，在所述底板的橫向兩端各設有一個與所述封閉槽A對應的鑲嵌條A，在所述縱向側板長度方向的兩端各設置有一個條形的封閉槽B，在所述橫向側板的兩端各設置有一個與封閉槽B對應的鑲嵌條B，在所述縱向側板上陣列設置有若干螺紋孔，所述連接柱的兩端通過螺紋與底板兩側的縱向側板固定連接。

作為本實用新型的進一步創新，在所述縱向側板、橫向側板和底板上還陣列設置有若干減重孔。

作為本實用新型的進一步創新，在所述封閉槽A的底部設置有若干定位槽A，在所述鑲嵌條A上設置有若干與定位槽A對應的定位條A。

作為本實用新型的進一步創新，在所述封閉槽B的底部設置有若干定位槽B，在所述鑲嵌條B上設置有若干與定位槽B對應的定位條B。

作為本實用新型的進一步創新，所述縱向側板、橫向側板、底板和連接柱均采用POM材料制成。

本實用新型的有益效果是：

1、本實用新型采用了可拆卸式的結構，方便了周轉盒的清理與維護，同時本實用新型采用加工螺紋的連接柱的固定模式，拆卸也更加簡易，降低了在一些細節處擴散硅片碎片的清理難度。

2、減重孔可以有效降低擴散硅片周轉盒的重量，同時可以方便擴散硅片碎片的清理，以及在擴散硅片蝕刻過程中，酸洗、堿洗液的排放。

3、定位槽和定位條結構可以提高結構的穩定性，防止封閉槽與鑲嵌條之前因為加工精度有限所導致的周轉盒組合結構不穩定性的問題。

4、POM材料具有良好的溫度和環境耐受性。

附圖說明

圖1是本實用新型的局部剖面示意圖；

圖中：底板1、鑲嵌條A2、封閉槽A3、縱向側板4、螺紋孔5、連接柱6、封閉槽B7、定位槽B8。

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型進行詳細說明。

一種擴散硅片周轉盒，包括采用POM材料制成的兩個縱向側板4、兩個橫向側板、底板1和若干連接柱6；

在所述兩個縱向側板4的底部均設置有條形的封閉槽A3，在所述底板1的橫向兩端各設有一個與所述封閉槽A3對應的鑲嵌條A2,在所述封閉槽A3的底部設置有若干定位槽A，在所述鑲嵌條A2上設置有若干與定位槽A對應的定位條A；

在所述縱向側板4長度方向的兩端各設置有一個條形的封閉槽B7，在所述橫向側板的兩端各設置有一個與封閉槽B7對應的鑲嵌條B,在所述封閉槽B7的底部設置有若干定位槽B8，在所述鑲嵌條B上設置有若干與定位槽B8對應的定位條B;

在所述縱向側板4上陣列設置有若干螺紋孔5，所述連接柱6的兩端通過螺紋與底板1兩側的縱向側板4固定連接;

在所述縱向側板4、橫向側板和底板1上還陣列設置有若干減重孔。

安裝時，首先將兩個橫向側板放置到兩個縱向側板4中間，使得鑲嵌條B鑲嵌到封閉槽B7內，同時使得定位條B嵌入到定位槽B8內，實現鑲嵌條B與封閉槽B7之間的定位;在安裝橫向側板的同時，將底板1放置到兩個縱向側板4底部之間，使得鑲嵌條A2鑲嵌到封閉槽A3內，同時使得定位條A嵌入到定位槽A內，實現鑲嵌條A2與封閉槽A3之間的定位，最后將連接柱6擰入到螺紋孔5內，實現兩個縱向側板4的固定，通過縱向側板4的固定，使得兩個橫向側板和底板1夾緊在兩個縱向側板4之間實現固定；

本結構方便拆卸，方便了周轉盒的清理與維護，同時本實用新型采用加工螺紋的連接柱6的固定模式，拆卸也更加簡易，降低了在一些細節處擴散硅片碎片的清理難度；

減重孔可以有效降低擴散硅片周轉盒的重量，同時可以方便擴散硅片碎片的清理，以及在擴散硅片蝕刻過程中，酸洗、堿洗液的排放；

POM材料具有良好的溫度和環境耐受性，可以提高本周轉盒的耐用度。

以上述依據本實用新型的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項實用新型技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項實用新型的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據權利要求范圍來確定其技術性范圍。