[實用新型]一種硅片清洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520571251.5
• 申請日: 2015-07-31
• 公開（公告）號: CN204834576U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陶建陽
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇奧能光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 常州市維益專利事務(wù)所 32211
• 代理人: 陸華君

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅片清洗裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中，硅片的清洗通常需要先將硅片放置于清洗花籃，然后再將多個清洗花籃裝載于清洗筐中，最后將整個清洗筐進行單槽清洗。然而，傳統(tǒng)的清洗方法中，每個清洗筐中僅僅可以放置8個清洗花籃，每個清洗花籃的長邊與清洗筐的長邊方向垂直。這種清洗方法，每一筐只能同時對200片硅片進行清洗，效率低。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種硅片清洗裝置，以克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

本申請實施例公開一種硅片清洗裝置，包括清洗筐、以及陣列放置于所述清洗筐內(nèi)的9個清洗花籃，所述清洗花籃的長邊與所述清洗筐的長邊平行，所述清洗花籃的短邊與所述清洗筐的短邊平行。

優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述清洗框包括矩形的底部邊框、相對設(shè)置的第一側(cè)邊框、以及相對設(shè)置的第二側(cè)邊框，所述第一側(cè)邊框固定于所述底部邊框的邊緣且位于豎直方向，所述第二側(cè)邊框連接于所述第一側(cè)邊框之間，所述相對設(shè)置的第二側(cè)邊框之間的間距大于所述底部邊框短邊的長度。

優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述清洗花籃的材質(zhì)為PFA聚偏氟乙烯。

優(yōu)選的，在上述的硅片清洗裝置中，所述每個清洗花籃中裝載有25片硅片。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

(1)、改善前單槽清洗批量由8盒/筐200片轉(zhuǎn)變改善后單槽清洗批量9盒/筐225片，單項改善產(chǎn)量提升12.5％。

(2)、改善了清洗花籃工裝的用量從而節(jié)省物料的成本。

(3)、保證了單框清洗運行的穩(wěn)定性。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請中記載的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實用新型具體實施例中硅片清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為本實用新型具體實施例中硅片清洗裝置的側(cè)視圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行詳細的描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

參圖1所示，硅片清洗裝置，包括清洗筐1、以及陣列放置于清洗筐內(nèi)的9個清洗花籃2，清洗花籃2的長邊與清洗筐1的長邊平行，清洗花籃2的短邊與清洗筐1的短邊平行。

在該技術(shù)方案中，將現(xiàn)有的8籃改9籃超洗，提高了晶片產(chǎn)能的狀態(tài)下，污染物洗法同改善前一樣的清洗效果，此種改善大幅度提高了產(chǎn)量從而推之大大降低成本，這樣的改善便于推廣。

參圖2所示，清洗框1包括矩形的底部邊框11、相對設(shè)置的第一側(cè)邊框12、以及相對設(shè)置的第二側(cè)邊框13，第一側(cè)邊框12固定于底部邊框11的邊緣且位于豎直方向，第二側(cè)邊框13連接于所述第一側(cè)邊框12之間，相對設(shè)置的第二側(cè)邊框13之間的間距大于所述底部邊框11短邊的長度。

進一步地，第二側(cè)邊框連接于第一側(cè)邊框的側(cè)邊上方位置。

在該技術(shù)方案中，本案將傳統(tǒng)的清洗框的在頂部位置加寬，因此增大了清洗框的容積。

進一步地，清洗花籃2的材質(zhì)為PFA聚偏氟乙烯。

在該技術(shù)方案中，本花籃即在100度以下NaoH溶液.Hci溶液.HF等溶液中對硅片進行清洗.轉(zhuǎn)換不變形，不污染硅片。

進一步地，每個清洗花籃2中裝載有25片硅片。

綜上所述，本實用新型的優(yōu)點在于：

(1)、改善前單槽清洗批量由8盒/筐200片轉(zhuǎn)變改善后單槽清洗批量9盒/筐225片，單項改善產(chǎn)量提升12.5％。

(2)、改善了清洗花籃工裝的用量從而節(jié)省物料的成本。

(3)、保證了單框清洗運行的穩(wěn)定性。