[實用新型]一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520567069.2
• 申請日: 2015-07-31
• 公開（公告）號: CN204809194U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設計）人: 蘇陶炯
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

技術領域

本實用新型屬于半導體制造領域，涉及一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具。

背景技術

在現今的半導體制造工藝中，晶圓從生產制造到運送，都需要在密閉無塵條件下進行。相比于傳統的將生產設備設置潔凈室內的晶圓生產方式，新的晶圓隔離技術則是將潔凈室直接設置于生產設備中。晶圓隔離技術又稱為標準機械接口(StandardMechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半導體設備中。在半導體制造工藝中，SMIF作為一個界面接口，在該界面接口中，晶圓被裝進晶圓盒；接著將晶圓盒裝載并封閉在SMIF，SMIF為晶圓提供一個極端潔凈的凈化級別的微環(huán)境。后續(xù)，裝有晶圓的晶圓盒會被運輸至相應的半導體設備，以完成相應制程，之后再被運輸至SMIF中存儲起來。

SMIF中設有若干激光傳感器(lasersensor)，用于感應晶圓(wafer)、凹槽(slot)、凸起(protrusion)等的位置。SMIF激光傳感器應滿足的標準：激光需射到接收傳感器的中心位置，這需要通過不斷調整SMIF激光傳感器來實現。

如圖1所示，顯示為一種SMIF的俯視結構示意圖，其中，SMIF框架上設有晶圓位置激光傳感器101、晶舟位置激光傳感器102及晶圓凸起激光傳感器103，其中，晶圓位置激光傳感器(waferpositionsensor)用于偵測晶舟里是否有晶圓，晶舟位置激光傳感器(cassetteslotsensor)用于偵測SMIF底盤上是否有晶舟，晶圓凸起激光傳感器(waferprotrusionsensor)用于偵測晶舟里的晶圓有沒有凸出來。偵測激光通過激光二極管(laserdiode)104發(fā)出，并經晶圓位置分光鏡((waferpositionbeamsplitter)105、晶舟位置分光鏡(cassetteslotbeamsplitters)106及反射鏡(mirrors)107的透射、反射作用，通過三個路徑分別射入所述晶圓位置激光傳感器101、晶舟位置激光傳感器102及晶圓凸起激光傳感器103。

當前激光傳感器的調整主要是通過調節(jié)分光鏡及反射鏡的位置使激光射到相應的接收傳感器。接收傳感器的位置是固定的，且位置隱蔽不易被觀察，調節(jié)時觀察很不方便，同時存在眼睛被激光照射到的風險。特別的，工廠內往往有數千臺SMIF，同時每臺SMIF都需要做定時檢查，由此將造成極大的人力資源的浪費。

因此，提供一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，以便于工程師高效完成對SMIF激光傳感器的檢測和調整，節(jié)約人力和時間，同時保護操作人員的眼睛實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，用于解決現有技術中對SMIF激光傳感器的調整耗費大量人力和時間，并容易傷害操作人員眼睛的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，包括：

基座，所述基座上設有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上設有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置與SMIF上設置的激光傳感器的激光接收中心位置相對應。

可選地，所述激光照射靶柱為長方體。

可選地，所述靶心通孔為圓孔或多邊形孔。

可選地，所述激光照射靶柱的數目為三個，分別對應SMIF上設置的晶圓位置激光傳感器、晶舟位置激光傳感器及晶圓凸起激光傳感器。

可選地，所述基座上還設有開口，所述開口的位置對應SMIF底盤上的凸起。

可選地，所述開口為圓孔。

可選地，所述基座上還連接有把手。

可選地，所述把手跨越所述開口。

可選地，所述基座上設有貫穿所述基座的孔洞，所述孔洞的位置與所述SMIF底盤上的針腳位置相對應。

可選地，所述基座的外形與SMIF底盤的外形相匹配。

如上所述，本實用新型的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，具有以下有益效果：本實用新型的輔助工具可以用于檢測SMIF激光傳感器的位置是否正確，并有效地幫助SMIF激光傳感器位置的調整(通過調整分光鏡及反射鏡的位置間接調整)，對于工廠內數量巨大的SMIF來說，既節(jié)省了調整時間，又節(jié)省了人力，同時可以保護操作人員的眼睛，避免操作人員眼睛被激光照射的風險。

附圖說明

圖1顯示為現有技術中SMIF的俯視結構示意圖。

圖2顯示為本實用新型的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具的結構示意圖。