[實用新型]一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具有效
| 申請號： | 201520567069.2 | 申請日： | 2015-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN204809194U | 公開（公告）日： | 2015-11-25 |
| 發明（設計）人： | 蘇陶炯 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 100176 北京市大興區大*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 smif 激光 傳感器 檢測 調整 輔助工具 | ||
1.一種SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于，包括：
基座，所述基座上設有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上設有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置與SMIF上設置的激光傳感器的激光接收中心位置相對應。
2.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述激光照射靶柱為長方體。
3.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述靶心通孔為圓孔或多邊形孔。
4.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述激光照射靶柱的數目為三個，分別對應SMIF上設置的晶圓位置激光傳感器、晶舟位置激光傳感器及晶圓凸起激光傳感器。
5.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述基座上還設有開口，所述開口的位置對應SMIF底盤上的凸起。
6.根據權利要求5所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述開口為圓孔。
7.根據權利要求5所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述基座上還連接有把手。
8.根據權利要求7所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述把手跨越所述開口。
9.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述基座上設有貫穿所述基座的孔洞，所述孔洞的位置與所述SMIF底盤上的針腳位置相對應。
10.根據權利要求1所述的SMIF激光傳感器檢測及調整輔助工具，其特征在于：所述基座的外形與SMIF底盤的外形相匹配。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
