[實用新型]一種直供沖水的濕法插片機有效
| 申請號: | 201520565643.0 | 申請日: | 2015-07-31 |
| 公開(公告)號: | CN204809245U | 公開(公告)日: | 2015-11-25 |
| 發明(設計)人: | 荊新杰;劉巍;李寧;李佩劍;韓慶輝;周為貞;牛猛;朱瑞忠 | 申請(專利權)人: | 陽光硅峰電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 湯東鳳 |
| 地址: | 065201 河北省廊坊市三河市*** | 國省代碼: | 河北;13 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 沖水 濕法 插片機 | ||
技術領域
本實用新型涉及光伏晶體硅片多線切割設備技術領域,尤其是涉及硅片插裝花籃工序中的一種直供沖水的濕法插片機。
背景技術
光伏晶體硅加工工序,多線切割、脫膠完畢后,需將硅片插入花籃中,以為下道清洗工序做好準備。當前,最為先進的插片設備為全自動的濕法插片機,其工作原理為通過前噴頭水流沖擊,將硅片沖起,從而順著皮帶帶走硅片,最終完成插片。由于脫膠工序普遍采用乳酸浸泡脫膠方式,因此硅片間存留較多乳酸,乳酸在水內極易形成結絮。
自來水補進插片機插片槽后,采用內循環方式沖片,管道容易產生較多結絮,雖然有另一路自來水補給進硅片水槽內,作為溢流稀釋,但仍不能有效解決結絮現象。一般運行兩周時間結絮達到4-6mm厚,因此,需經常拆卸管道、水泵清理。
實用新型內容
本實用新型的目的是提供一種直供沖水的濕法插片機,改內循環方式為直接供給自來水,水量與原來用量相當,采用中間儲水槽方式,避免管道內抽空或管道內壓力變化,影響沖片水流速度,從而穩定插片工藝,并有效防止管道內不結絮。
為解決上述技術問題,本實用新型采用如下技術方案:
本實用新型一種直供沖水的濕法插片機,包括
中轉水槽,所述中轉水槽內上端一側設置有進水管道,所述進水管道延伸到中轉水槽內的部分連接有用于測水位的漂浮閥門,所述中轉水槽內下端設置有過濾器;
硅片水槽,所述硅片水槽內一側設置有硅片籃,所述硅片籃內放置有硅片,所述硅片籃的近上端設置有用于傳送硅片的吸附傳輸機構,所述吸附傳輸機構包括一級傳送帶和用于將硅片吸附到一級傳送帶上的吸附裝置;
所述中轉水槽內的過濾器通過第一連接水管連接離心水泵,所述離心水泵通過第二連接水管連通到硅片水槽內,所述第二連接水管連通到硅片水槽內的一端連接有噴頭。
進一步的,所述一級傳送帶一端位于硅片籃上方,另一端設置有二級傳送帶。
進一步的,所述噴頭的噴水方向朝向硅片籃內的硅片。
進一步的,所述過濾器和離心水泵之間的第一連接水管上設置有單向閥,滿足中轉水槽的高度低于硅片水槽位置時的安裝。
進一步的,所述第一連接水管與中轉水槽的連接處設置有防止漏水的密封圈。
進一步的,所述第二連接水管與硅片水槽的連接處設置有防止漏水的密封圈。
進一步的,所述中轉水槽的上部分有開口結構,與大氣相通。
本實用新型的有益效果為:管道內不結絮,水流壓力穩定,用水量不增加,停止沖片便停止溢流水量。
下面結合附圖說明對本實用新型作進一步說明。
附圖說明
圖1為本實用新型直供沖水的濕法插片機的結構示意。
附圖標記說明:1-離心水泵;2-單向閥;3-中轉水槽;4-過濾器;5-進水管道;6-浮漂閥門;7-二級傳送帶;8-一級傳送帶;9-吸附裝置;10-硅片籃;11-硅片;12-噴頭;13-硅片水槽;14-第一連接水管;15-第二連接水管。
具體實施方式
于一實施例中,如圖1所示,一種直供沖水的濕法插片機,包括中轉水槽3和硅片水槽13;中轉水槽3的上部分有開口結構,與大氣相通,從而屏蔽進水管道壓力波動帶來的影響,中轉水槽3內上端一側設置有進水管道5,進水管道5延伸到中轉水槽3內的部分連接有用于測水位的漂浮閥門6,方便觀看水位,中轉水槽3內下端設置有過濾器4,硅片水槽13內一側設置有可上、下移動硅片籃10,硅片籃10內放置有硅片11,硅片籃10的近上端設置有用于傳送硅片11的吸附傳輸機構,該吸附傳輸機構包括一級傳送帶8和用于將硅片11吸附到一級傳送帶8上的吸附裝置9,一級傳送帶8一端位于硅片籃10上方,另一端設置有二級傳送帶7;中轉水槽3內的過濾器4通過第一連接水管14連接離心水泵1,離心水泵1通過第二連接水管15連通到硅片水槽13內,第二連接水管15連通到硅片水槽13內的一端連接有噴頭12,過濾器4和離心水泵1之間的第一連接水管14上設置有單向閥2,滿足中轉水槽3的高度低于硅片水槽13位置時的安裝,節省設備整體體積,噴頭12的噴水方向朝向硅片籃10內的硅片11。其中第一連接水管14與中轉水槽3的連接處設置有防止漏水的密封圈,第二連接水管15與硅片水槽13的連接處設置有同樣的防止漏水的密封圈。
本實用新型的工作過程如下:
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于陽光硅峰電子科技有限公司,未經陽光硅峰電子科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520565643.0/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





