[實用新型]一種直供沖水的濕法插片機

有效

• 申請號: 201520565643.0
• 申請日: 2015-07-31
• 公開（公告）號: CN204809245U
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 荊新杰;劉巍;李寧;李佩劍;韓慶輝;周為貞;牛猛;朱瑞忠
• 申請（專利權）人: 陽光硅峰電子科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種直供沖水的濕法插片機，其特征在于：包括

中轉水槽（3），所述中轉水槽（3）內上端一側設置有進水管道（5），所述進水管道（5）延伸到中轉水槽（3）內的部分連接有用于測水位的漂浮閥門（6），所述中轉水槽（3）內下端設置有過濾器（4）；

硅片水槽（13），所述硅片水槽（13）內一側設置有可上、下移動的硅片籃（10），所述硅片籃（10）內放置有硅片（11），所述硅片籃（10）的近上端設置有用于傳送硅片（11）的吸附傳輸機構，所述吸附傳輸機構包括一級傳送帶（8）和用于將硅片（11）吸附到一級傳送帶（8）上的吸附裝置（9）；

所述中轉水槽（3）內的過濾器（4）通過第一連接水管（14）連接離心水泵（1），所述離心水泵（1）通過第二連接水管（15）連通到硅片水槽（13）內，所述第二連接水管（15）連通到硅片水槽（13）內的一端連接有噴頭（12）。

2.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述一級傳送帶（8）一端位于硅片籃（10）上方，另一端設置有二級傳送帶（7）。

3.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述噴頭（12）的噴水方向朝向硅片籃（10）內的硅片（11）。

4.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述過濾器（4）和離心水泵（1）之間的第一連接水管（14）上設置有單向閥（2），滿足中轉水槽（3）的高度低于硅片水槽（13）位置時的安裝。

5.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述第一連接水管（14）與中轉水槽（3）的連接處設置有防止漏水的密封圈。

6.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述第二連接水管（15）與硅片水槽（13）的連接處設置有防止漏水的密封圈。

7.根據權利要求1所述的直供沖水的濕法插片機，其特征在于：所述中轉水槽（3）的上部分有開口結構，與大氣相通。