[實(shí)用新型]一種硅片鍍膜用石墨舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520549348.6
• 申請日: 2015-07-28
• 公開（公告）號: CN204857687U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃勤健;隆霹顯;陳志運(yùn);王世賢;張華;陳清波;杜教峰
• 申請（專利權(quán)）人: 張家港國龍光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片鍍膜設(shè)備，特別涉及一種硅片鍍膜用石墨舟。

背景技術(shù)

在光伏行業(yè)內(nèi)，管式PECVD鍍膜工藝要求將硅片將插入石墨舟內(nèi)，通過石墨舟葉片上的石墨卡點(diǎn)將硅片固定住?？c(diǎn)的設(shè)計形狀不僅會對鍍膜卡點(diǎn)印的大小有影響，也會因其耐用程度和牢固性進(jìn)而影響鍍膜色差、蹦點(diǎn)的比例。傳統(tǒng)的卡點(diǎn)有兩種：一種是圓形卡點(diǎn)，鍍膜卡點(diǎn)印較大，影響外觀，且長時間使用后卡得不牢固，影響色差比例；另一種是菱形卡點(diǎn)，有利于改善色差，但是耐用程度較差。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種硅片鍍膜用石墨舟。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種硅片鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯分布的石墨舟片、上電極座、下電極座，所述石墨舟片底部設(shè)有支撐座，所述石墨舟片端部上端設(shè)有上電極隔板，所述石墨舟片端部底端設(shè)有下電極隔板，所述石墨舟片上設(shè)有卡點(diǎn)，至少兩個所述卡點(diǎn)與被鍍膜的硅片邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)包括與所述石墨舟片連接的放置座、設(shè)置于所述放置座兩側(cè)的卡爪，所述卡爪為圓臺狀且兩側(cè)對稱設(shè)有一斜面，即所述卡爪側(cè)面由一對弧面、連接兩條弧面的斜面構(gòu)成。

上述設(shè)計中在卡點(diǎn)的卡爪側(cè)面設(shè)置弧面和斜面使得卡點(diǎn)與硅片點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時產(chǎn)生的卡點(diǎn)印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來更加均一；卡點(diǎn)與硅片的接觸面為圓潤的弧形設(shè)計，可以降低硅片在插取過程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。

作為本設(shè)計的進(jìn)一步改進(jìn)，所述石墨舟片設(shè)有放置孔，所述放置座與所述放置孔小間隙配合或過渡配合，兼顧卡點(diǎn)的安裝便捷性和卡點(diǎn)穩(wěn)定性。

作為本設(shè)計的進(jìn)一步改進(jìn)，三個所述卡點(diǎn)與硅片邊緣卡緊，所述硅片傾斜放置在石墨舟片側(cè)面，所述石墨舟片底面與水平面夾角為3-5°。硅片傾斜，便于卡點(diǎn)與硅片在放置后全接觸，提高硅片穩(wěn)定性，便于放置或拿取硅片。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型在卡點(diǎn)的卡爪側(cè)面設(shè)置弧面和斜面使得卡點(diǎn)與硅片點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時產(chǎn)生的卡點(diǎn)印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來更加均一；卡點(diǎn)與硅片的接觸面為圓潤的弧形設(shè)計，可以降低硅片在插取過程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。

圖1是本實(shí)用新型的正面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型的卡點(diǎn)結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型的卡點(diǎn)與石墨舟片連接示意圖。

在圖中1.下電極座，2.上電極座，3.石墨舟片，4.硅片，5.支撐座，6.卡點(diǎn)，7.下電極隔板，8.上電極隔板，9.放置座，10.弧面，11.斜面，12.卡爪，13.放置孔。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例來詳細(xì)說明本實(shí)用新型，其中的示意性實(shí)施例以及說明僅用來解釋本實(shí)用新型，但并不作為對本實(shí)用新型的限定。

實(shí)施例：一種硅片4鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯分布的石墨舟片3、上電極座2、下電極座1，所述石墨舟片3底部設(shè)有支撐座5，所述石墨舟片3端部上端設(shè)有上電極隔板8，所述石墨舟片3端部底端設(shè)有下電極隔板7，所述石墨舟片3上設(shè)有卡點(diǎn)6，至少兩個所述卡點(diǎn)6與被鍍膜的硅片4邊緣卡緊；所述卡點(diǎn)6包括與所述石墨舟片3連接的放置座9、設(shè)置于所述放置座9兩側(cè)的卡爪12，所述卡爪12為圓臺狀且兩側(cè)對稱設(shè)有一斜面11，即所述卡爪12側(cè)面由一對弧面10、連接兩條弧面10的斜面11構(gòu)成。

上述設(shè)計中在卡點(diǎn)6的卡爪12側(cè)面設(shè)置弧面10和斜面11使得卡點(diǎn)6與硅片4點(diǎn)接觸，有效減小鍍膜時產(chǎn)生的卡點(diǎn)6印，擴(kuò)大鍍膜面積，外觀看起來更加均一；卡點(diǎn)6與硅片4的接觸面為圓潤的弧形設(shè)計，可以降低硅片4在插取過程中產(chǎn)生蹦點(diǎn)的幾率，提高外觀的良率。

作為本設(shè)計的進(jìn)一步改進(jìn)，所述石墨舟片3設(shè)有放置孔13，所述放置座9與所述放置孔13小間隙配合或過渡配合，兼顧卡點(diǎn)6的安裝便捷性和卡點(diǎn)6穩(wěn)定性。

作為本設(shè)計的進(jìn)一步改進(jìn)，三個所述卡點(diǎn)6與硅片4邊緣卡緊，所述硅片4傾斜放置在石墨舟片3側(cè)面，所述石墨舟片3底面與水平面夾角為3-5°。硅片4傾斜，便于卡點(diǎn)6與硅片4在放置后全接觸，提高硅片4穩(wěn)定性，便于放置或拿取硅片4。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。