[實用新型]一種硅片鍍膜用石墨舟有效

申請號：	201520549348.6	申請日：	2015-07-28
公開（公告）號：	CN204857687U	公開（公告）日：	2015-12-09
發明（設計）人：	黃勤健;隆霹顯;陳志運;王世賢;張華;陳清波;杜教峰	申請（專利權）人：	張家港國龍光伏科技有限公司
主分類號：	H01L21/673	分類號：	H01L21/673
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	215000 江蘇省蘇***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種硅片鍍膜石墨
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【權利要求書】：

1.一種硅片鍍膜用石墨舟，包括若干依次交錯分布的石墨舟片、上電極座、下電極座，所述石墨舟片底部設有支撐座，其特征在于，所述石墨舟片端部上端設有上電極隔板，所述石墨舟片端部底端設有下電極隔板，所述石墨舟片上設有卡點，至少兩個所述卡點與被鍍膜的硅片邊緣卡緊；所述卡點包括與所述石墨舟片連接的放置座、設置于所述放置座兩側的卡爪，所述卡爪為圓臺狀且兩側對稱設有一斜面，即所述卡爪側面由一對弧面、連接兩條弧面的斜面構成。

2.根據權利要求1所述的一種硅片鍍膜用石墨舟，其特征是，所述石墨舟片設有放置孔，所述放置座與所述放置孔小間隙配合或過渡配合。

3.根據權利要求1所述的一種硅片鍍膜用石墨舟，其特征是，三個所述卡點與硅片邊緣卡緊，所述硅片傾斜放置在石墨舟片側面，所述石墨舟片底面與水平面夾角為3-5°。

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