[實(shí)用新型]一種新型全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520530593.2
• 申請(qǐng)日: 2015-07-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204746973U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 申炳榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江昊能光電有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/10
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 郭曉華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種新型全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)。

背景技術(shù)

隨著可再生能源的日益貧乏，尋找新的能源途徑，已經(jīng)成為全人類共同的目標(biāo)。然而可再生能源――生物能、光能、水能、風(fēng)能等有限的幾種，這幾種中只有光能才能目前最有效、快捷的方法。利用太陽(yáng)能硅片來(lái)發(fā)電、供熱是目前全世界開(kāi)發(fā)的熱點(diǎn)。我們國(guó)家雖然在太陽(yáng)能硅片應(yīng)用行業(yè)起步較晚，但就近幾年來(lái)的發(fā)展速度看，還是相當(dāng)驚人的。

硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、擴(kuò)散和引線蒸發(fā)等工序前,采用物理或化學(xué)的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清潔度要求的硅片表面的過(guò)程。在光伏太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)中,硅片在加工中表面會(huì)產(chǎn)生硅料多晶邊皮、頂料、片料、堝底料以及原生多晶料，需要清洗設(shè)備進(jìn)行表面清洗，而超聲波太陽(yáng)能清洗機(jī)可以有效去除硅片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性，在硅片生產(chǎn)加工中得到廣泛應(yīng)用。

如中國(guó)實(shí)用新型專利申請(qǐng)(申請(qǐng)?zhí)枺?01410091070.2)公開(kāi)了一種全自動(dòng)太陽(yáng)能硅片清洗機(jī)。該清洗機(jī)包括一超聲清洗槽，所述的超聲清洗槽后方依次設(shè)有浸泡酸洗槽、超聲堿洗槽以及一個(gè)或多個(gè)超聲漂洗槽，所述的超聲清洗槽、浸泡酸洗槽、超聲堿洗槽及超聲漂洗槽上方設(shè)有一平移支架，所述的平移支架上吊設(shè)又一個(gè)或多個(gè)承載待清洗硅片的吊籃，所述的平移支架安裝在一升降結(jié)構(gòu)上。上述設(shè)備中清洗槽內(nèi)的污水排除比較不便，其槽底也難以清洗，長(zhǎng)期會(huì)降低對(duì)硅片的清洗效果，另外硅片在清洗槽內(nèi)處于靜態(tài)時(shí)，清洗范圍也不夠到位。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題，提出了一種型全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)。

本實(shí)用新型的目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種新型全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)，包括機(jī)架和用于放置硅片的吊籃，所述機(jī)架上設(shè)有若干個(gè)呈一條直線排列的清洗槽，所述清洗槽可容納吊籃放入其中，所述清洗槽底部設(shè)有超聲波發(fā)聲板，所述清洗槽內(nèi)側(cè)部設(shè)有電加熱器，其特征在于，機(jī)架上具有與清洗槽排列方向平行的直線滑軌和沿著直線滑軌的滑座，滑座上固定有電機(jī)和氣缸，機(jī)架上還設(shè)有與直線滑軌平行的齒條，電機(jī)的輸出軸上套有與齒條嚙合的齒輪，滑座下方通過(guò)導(dǎo)柱連接有升降板升降板與氣缸的推桿連接，升降板的兩側(cè)固定有若干組掛鉤，吊籃兩側(cè)具有凸出的支撐柱，所述清洗槽內(nèi)壁設(shè)有振動(dòng)器，所述振動(dòng)器可與吊籃邊框接觸。

根據(jù)清洗要求每個(gè)清洗槽裝有不同的清洗液，吊籃中的硅片需逐一浸入每個(gè)清洗槽內(nèi)進(jìn)行清洗。電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)會(huì)帶動(dòng)其輸出軸上的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪間接帶動(dòng)滑座沿著直線滑軌滑動(dòng)，氣缸上的推桿會(huì)推動(dòng)升降板上下移動(dòng)，通過(guò)氣缸和電機(jī)的配合控制掛鉤完成鉤住吊籃兩側(cè)的支撐柱且?guī)?dòng)吊籃上下左右移動(dòng)的動(dòng)作。裝有硅片的吊籃位于清洗槽內(nèi)時(shí)，超聲波發(fā)聲板對(duì)吊籃上的硅片進(jìn)行聲波清洗，振動(dòng)器帶動(dòng)吊籃擺動(dòng)，提高清洗效果。

掛鉤上固定有紅外線發(fā)射器，每個(gè)清洗槽邊緣固定有紅外線接收器。

采用以上結(jié)構(gòu)，在掛鉤下移時(shí)，當(dāng)清洗槽邊緣上的紅外線接收器接收到掛鉤上紅外線發(fā)射器發(fā)出的信號(hào)，氣缸會(huì)立刻停止繼續(xù)向下推動(dòng)升降板，位于升降板上的掛鉤也隨之停止下移，不但可避免零部件之間的碰撞，而且還間接提高了控制的精確度，加快了清洗效率。

所述的清洗槽呈錐形，清洗槽底部開(kāi)有排污口。

采用以上結(jié)構(gòu)，便于將清洗槽內(nèi)使用過(guò)后的清洗液的排除，既代替了人工手動(dòng)舀液體，又提高了清除效果。

所述清洗槽兩側(cè)及頂部設(shè)置有封閉的玻璃窗。

采用以上結(jié)構(gòu)，使得清洗槽呈封閉狀，避免硅片及清洗槽內(nèi)的清洗液受污染，改善工作環(huán)境，提高清洗效果，另外玻璃窗為透明狀，便于工作人員觀察到其內(nèi)部情況。

所述清洗槽的外側(cè)前端設(shè)有調(diào)節(jié)電加熱器開(kāi)閉的控制面板。

控制面板數(shù)量為一個(gè)，控制所有清洗槽內(nèi)電加熱器的開(kāi)閉及溫度大小的調(diào)節(jié)，并且每個(gè)清洗槽內(nèi)的電加熱器的都為獨(dú)立控制。提高控制范圍，加強(qiáng)硅片的清洗效果。

所述的電加熱器為普通的管式電加熱器。

普通的管式電加熱器就具備了體積小、功率大、熱響應(yīng)快、控溫精度高、加熱溫度高、介質(zhì)出口溫度均勻的特點(diǎn)，另外其應(yīng)用范圍廣、適應(yīng)性強(qiáng)，節(jié)能效果顯著，電能產(chǎn)生的熱量幾乎100％傳給加熱介質(zhì)，還可全自動(dòng)化控制。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本本新型全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)具有以下幾點(diǎn)

1.本設(shè)備為多工位通過(guò)式清洗線，傳動(dòng)機(jī)械臂氣運(yùn)送料，籃筐式清洗，運(yùn)行安全可靠，使用壽命長(zhǎng)；