[實用新型]一種新型全自動超聲波清洗機

有效

• 申請號: 201520530593.2
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN204746973U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 申炳榮
• 申請（專利權）人: 浙江昊能光電有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/10
• 代理公司: 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489
• 代理人: 郭曉華

1.一種新型全自動超聲波清洗機，包括機架和用于放置硅片的吊籃(1)，所述機架上設有若干個呈一條直線排列的清洗槽(2)，所述清洗槽(2)可容納吊籃(1)放入其中，所述清洗槽(2)底部設有超聲波發聲板(3)，所述清洗槽(2)內側部設有電加熱器(4)，其特征在于，機架上具有與清洗槽(2)排列方向平行的直線滑軌(5)和沿著直線滑軌(5)的滑座(6)，滑座(6)上固定有電機(7)和氣缸(8)，機架上還設有與直線滑軌(5)平行的齒條(9)，電機(7)的輸出軸上套有與齒條(9)嚙合的齒輪(10)，滑座(6)下方通過導柱(11)連接有升降板(12)升降板(12)與氣缸(8)的推桿連接，升降板(12)的兩側固定有若干組掛鉤(13)，吊籃(1)兩側具有凸出的支撐柱(14)，所述清洗槽(2)內壁設有振動器(15)，所述振動器(15)可與吊籃(1)邊框接觸。

2.根據權利要求1所述的一種新型全自動超聲波清洗機，其特征在于，掛鉤(13)上固定有紅外線發射器(16)，每個清水槽邊緣固定有紅外線接收器(17)。

3.根據權利要求2所述的一種新型全自動超聲波清洗機，其特征在于，所述清洗槽(2)呈錐形，清洗槽(2)底部開有排污口(18)。

4.根據權利要求3所述的一種新型全自動超聲波清洗機，其特征在于，所述清洗槽(2)兩側及頂部設置有封閉的玻璃窗。

5.根據權利要求4所述的一種新型全自動超聲波清洗機，其特征在于，所述清洗槽(2)的外側前端設有調節電加熱器(4)開閉的控制面板(19)。

6.根據權利要求5所述的一種新型全自動超聲波清洗機，其特征在于，所述電加熱器(4)為普通的管式電加熱器(4)。