[實用新型]一種硅片清洗搖動裝置

有效

• 申請號: 201520529968.3
• 申請日: 2015-07-21
• 公開（公告）號: CN204912170U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 郭光燦;范強;魏海霞;王勇
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B3/08
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

1.一種硅片清洗搖動裝置，其特征在于：包括一個氣缸（3）、升降架和硅片承載架（7），升降架由水平設置的連接軸（4）和豎直設置在連接軸（4）兩端的立桿（6）組成，連接軸（4）與氣缸活塞桿的伸縮端連接，以使升降架在氣缸（3）驅動下做往復升降運動，與兩個立桿（6）相對應的位置分別設有一個導向柱（5），立桿（6）通過其側部設置的滑塊滑動設置在導向柱（5）的導槽內，硅片承載架（7）包括一個底板（71），底板（71）上設有多個凸起塊（75），多個凸起塊（75）與底板（71）之間形成用于放置硅片清洗籃（8）的卡槽，底板（71）上分布有多個透水孔（74），底板（71）的兩側各設有兩個連接桿（72），同一側的兩個連接桿（72）的頂端由一個耳板（73）連接，兩個耳板（73）分別與升降架的兩個立桿（6）的頂端連接，以使硅片承載架（7）在升降架帶動下能夠在硅片清洗機的清洗槽內上下運動。